七章光电传感器.ppt

主要内容 7.1 光基础知识 7.2 光电效应 7.3　外光电效应器件 7.4 内光电效应器件 7.5 新型光电传感器 7.6 光电传感器的应用举例 Nd:YAG激光器 7.6 光电传感器的应用举例 由于光电测量方法灵活多样，可测参数众多，又具有非接触、高精度、高分辨率、高可靠性和响应快等优点，加之激光光源、光栅、光学码盘、CCD器件、光导纤维等的相继出现和成功应用，使得光电传感器在检测和控制领域得到了广泛的应用。按其接收状态可分为模拟式光电传感器和脉冲光电传感器。 光电传感器在工业上的应用可归纳为吸收式、遮光式、反射式、辐射式四种基本形式。下图表明了四种形式的工作方式。 例1：直射式光电转速传感器 固态图象传感器的应用: 用CCD线阵型摄象机作流水线零件尺寸在线检测。 采用摄像机利用三角法测量物体位置。 用三角法测量工件轮廓。 采用面阵式CCD摄象机利用投影法测量物体三维表面形貌 用莫尔条纹法来测量物体的三维形貌。 例12：测量心率 脉搏跳动-生物组织血液 量变化-传输光的性能变化 变化速率-心率 手指光反射强度变化的测量 例13：条形码扫描笔 例14：红外线警戒报警器 电 源 光源 滤光片 红外线 凸透镜 红外接收器 报警系统 声 光 报 警 VD1 2CU RP1 10k VT1 3AX31 R2 51k R1 R310k VT2 VD2 2CP10 K2 K S 9V K1 +V 有人遮挡：报警 例15：大米分选机 大米及杂质 在光照下， 发出不同 光信号 根据光学性能，不同颜色的光在不同的介质中的穿透能力不同。利用不同介质对某一色光的吸收，用这种色光去投射液体管道，根据接收到的光强来判断管道中的液流介质。 7.5.3 光固态图象传感器 光固态图象传感器由光敏元件阵列和电荷转移器件集合而成。它的核心是电荷转移器件CTD（Charge Transfer Device），最常用的是电荷耦合器件CCD（Charge Coupled Device）。由于它具有光电转换、信息存储、延时和将电信号按顺序传送等功能，以及集成度高、功耗低的优点，因此被广泛地应用。 1．CCD的结构和基本原理 CCD是一种半导体器件，在N型或P型硅衬底上生长一层很薄的SiO2，再在SiO2薄层上依次序沉积金属电极，这种规则排列的MOS电容数组再加上两端的输入及输出二极管就构成了CCD芯片。CCD可以把光信号转换成电脉冲信号。每一个脉冲只反映一个光敏元的受光情况，脉冲幅度的高低反映该光敏元受光的强弱，输出脉冲的顺序可以反映光敏元的位置，这就起到图像传感器的作用。 CCD的MOS结构 P型Si 耗尽区 电荷转移方向 Ф1 Ф2 Ф3 输出栅 输入栅 输入二极管 输出二极管 SiO2 2．线型CCD图像传感器 线型CCD图像传感器由一列光敏元件与一列CCD并行且对应的构成一个主体,在它们之间设有一个转移控制栅。 实用的线型CCD图像传感器为双行结构，如图所示。单、双数光敏元件中的信号电荷分别转移到上、下方的移位寄存器中，在控制脉冲的作用下，自左向右移动，在输出端交替合并输出，就形成了原来光敏信号电荷的顺序。 线型CCD图像传感器 光积分区 输出 转移栅 3．面型CCD图像传感器 面型CCD图像传感器由感光区、信号存储区和输出转移部分组成。目前存在三种形式。 图(a)所示结构由行扫描电路、垂直输出寄存器、感光区和输出二极管组成。行扫描电路将光敏元件内的信息转移到水平（行）方向上，由垂直方向的寄存器将信息转移到输出二极管，输出信号由信号处理电路转换为视频图像信号。 面型CCD图像传感器结构 (a) (b) 二相驱动 视频输出 ? 行 扫 描 发 生 器 输出寄存器 检波二极管 二相驱动 感光区 沟阻 P1 P2 P3 P1 P2 P3 P1 P2 P3 感光区 存储区 析像单元 视频输出 输出栅 串行读出 图（b）增加了具有公共水平方向电极的不透光的信息存储区。在正常垂直回扫周期内，具有公共水平方向电极的感光区所积累的电荷同样迅速下移到信息存储区。在垂直回扫结束后，感光区回复到积光状态。在水平消隐周期内，存储区的整个电荷图像向下移动，每次总是将存储区最底部一行的电荷信号移到水平读出器，该行电荷在读出移位寄存器中向右移动以视频信号输出。当整帧视频信号自存储移出后，就开始下一帧信号的形成。 光栅报时钟 二相驱动 输出寄存器 检波二极管 视频输出 垂直转移 寄存器 感光区 二相驱动 (c) 图(c)是将图(b)中感光元件与存储元件相隔排列，即一列感光单元，一列