第三章-压电式传感器教学文稿.ppt

第三章 压电传感器;何为压电传感器?;§3.1 压电效应及材料;§3.1.1 压电效应;当在电介质的极化方向施加电场，某些电介质在一定方向上将产生机械变形或机械应力，当外电场撤去后，变形或应力也随之消失，这种物理现象称为逆压电效应（reverse piezodielectric effect），其应变的大小与电场强度的大小成正比，方向随电场方向变化而变化。它属于将电能转化为机械能的一种效应。1880-1881年，雅克（Jacques）和皮埃尔·居里（Piere Curie）发现了这两种效应。图3-1为压电效应示意图。 ;（a）正压电效应； （b）压电效应的可逆性 图3-1压电效应 ;;式3.1中D、σ—电位移矢量、电荷密度，单位面积的电荷量，C/m2； T—应力，单位面积作用的应力，N/m2； d—正压电系数，C/N。 逆压电效应中，外电场作用下的材料应变与电场强度成正比。即： （3. 2） 式3.2中S—应变，应变 ，微应变 ； E—外加电场强度，V/m； —逆压电系数，C/N。 当外加应力下表面面积不变时，d =d’ 。 ;;例如，压电材料钛酸铅 d=44pC/N， =600。取T=1000N，h=1cm，则V=828V。当在该平行板电容器模型加1kV电压时，S=4.4 。 具有压电性的电介质（称压电材料），能实现机－电能量的相互转换。压电材料是各项异性的，即不同方向的压电系数不同，常用矩阵向量d表示，6×3维。进而有电位移矩阵向量D，1×3维；应力矩阵向量T，1×6维；应变矩阵向量S，1×6维；电场强度矩阵向量E，1×3维。用向量形式对压电材料和压电效应，在空间上进行统一描述。实际上对于具体压电材料压电系数中的元素多数为零或对称，人们可以在压电效应最大的主方向上，“一维”地进行压电传感器设计。 ;在三维直角坐标系内的力一电作用状况如图3-2 所示。图中：T1、T2、T3分别为沿x、y、z向的正应力分量（压应力为负）；T4、T5、T6分别为绕x、y、z轴的切应力分量（顺时钟方向为负）；σ1、σ2、σ3分别为在x、y、z面上的电荷密度（或电位移D）。式3.5为正压电方程的向量矩阵表示，式3.6为逆压电方程的向量矩阵表示。压电方程是全压电效应的数学描述。它反映了压电介质的力学???为与电学行为之间相互作用（即机－电转换）的规律。 ; (3.5) (3.6);压电方程组也表明存在极化方向（电位差方向）与外力方向不平行的情况。正压电效应中，如果所生成的电位差方向与压力或拉力方向一致，即为纵向压电效应（longitudinal piezoelectric effect）。正压电效应中，如所生成的电位差方向与压力或拉力方向垂直时，即为横向压电效应（transverse piezoelectric effect）。在正压电效应中，如果在一定的方向上施加的是切应力，而在某方向上会生成电位差，则称为切向压电效应（tangential piezoelectric effect）。逆压电效应也有类似情况。 ;§3.1.2 压电材料;压电晶体;;石英晶体;钛酸钡毛坯和晶体;;;;;2．其他压电单晶;§3.1.2.2 压电陶瓷;压电陶瓷;;;;;;;§3.1.2.3 新型压电材料;;§3.1.3 压电振子;;;§3.2 压电传感器等效电路和测量电路; §3.2.1 等效电路;;;;;;§3.2.2 测量电路;§3.2.2.1 电压放大器; ——测量回路等效电阻； ——测量回路等效电容； ω——压电转换角频率。 ;假设压电器件取压电常数为d33的压电陶瓷，并在其极化方向上受有角频率为ω的交变力F＝Fmsinωt，则压电器件的输出 (3.16) 代入式（3.15）可得压电回路输出特性和电压灵敏度分别为 (3.17) (3.18);;;;;;§3.2.2.2 电荷放大器;;;;;;;§3.2.2.3 谐振电路;;;;;;§3.3 压电式传感器及其应用;广义地讲，凡是利用压电材料各种物理效应构成的种类繁多的传感器，都可称为压电式传感器。迄今它们在工业、军事和民用各个方面均已付