Q_ZSY 002-2018高精度大尺寸半导体单面研磨_抛光机.pdf

Q/ZSY002-2018 浙江森永光电设备有限公司企业标准 Q/ZSY002-2018 代替Q/ZSY001-2018 高精度大尺寸半导体单面研磨/抛光机 2018-7-01 发布 2018-7-30 实施 浙江森永光电设备有限公司 发布 Q/ZSY002-2018 目 录 前言 1 1、规范 2 2、规范性引用文件 3 3、术语和定义 3 4、产品规格 4 5、技术要求 5 6、试验方法 6 7、检验规则 7 8、标志、包装、运输和贮存 9 Q/ZSY002-2018 前 言 本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。 请注意本文的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别 这些专利的责任。 本标准由浙江森永光电设备有限公司提出。 本标准由浙江森永光电设备有限公司设计部负责起草。 本标准主要起草人： 1 Q/ZSY002-2018 单面铜抛/化抛机 1、范围 本标准规定了单面铜抛/化抛机的术语和定于、产品规格、技术要 求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于蓝宝石衬底和电子材料 （硅片、锗片等）单面抛光 制程的单面铜抛/化抛机。单面铜抛/化抛机由主机 （含电气控制箱、 操作面板箱、气路系统）、本体（含内部驱动、传动部分减速机马达）， 加工平台部分组成。 2、规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文 件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其 最新版本 （包括所有的修改单）适用于本文本。 GB/T 9061 金属切削机床 通用技术条件 GB/T17421.1 机床检验通则 第一部分：在无符合或精加工条件下机 床的几何精度 GB/T 11022-1999 高压开关设备和控制设备标准的共用技术要求 GB/T 14048