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体源气化系统 TL系列
概要
因为半导体工业设备的快速发展，为了成功地提高装置结构中整合和细化的水平，将新原料引入到制造工艺中是必须的。因此，对于在半导体制造工艺中使用的液体原料，现在有了更多的对于液体种类和增加体积容量的要求。
HORIBASTEC公司是世界上液源传送领域的领先者，它利用各种不同的方式，包括烘焙、直接注入和混合，提供一整套液体的气化和控制系统，保证高效率和稳定的气化，并最终传送到客户指定的地点。我们的自动补液系统完善了在产线上的不间断供液，安全和可靠的液体传送提高了机台正常运行的时间和减少了操作员对于危险性污染物处理的操作风险。?
特征
以引入运载气体的特殊喷雾器设计为特色，使它在大气压力条件下仍可获得稳定的大流量气化效果。
系统是由一个控制运载气体的气体质量流量计、一个控制液源的液体质量流量控制计和一个气化器组成的。
对于各种不同的液源，气化系统可适用不同的蒸汽压和流量要求
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