微电子学总结.docVIP

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微电子学概论 微电子学的概念(简答题) 微电子学是研究在固体(主要是半导体)材料上构成的微小型化电路及系统的电子学分支 (填空、选择) 微电子学——微型电子学 核心——集成电路 集成电路的概念 集成电路:Integrated Circuit,缩写IC。是指通过一系列工艺,在单片半导体材料上(Si或GaAs)加工出许多元器件(有源和无源),这些元器件按照一定要求连接起来,作为一个不可分割的整体执行某一特定功能。 晶体管的发明 ENIAC计算机是由电子管构成的(填空、选择) 1947年12月23日,第一次观测到了具有放大作用的晶体管 历史方向 1958年 基尔比 研制出了世界上第一块集成电路, 并于1959年公布 Moore定律 狭义:集成电路产业的集成度按照每18个月翻一番的速度递增(填空) 特征尺寸是指器件中最小线条宽度,常常作为技术水平的标志。 集成电路的分类 按照器件结构类型 双极 MOS BiMOS 双极集成电路:主要由双极晶体管构成 NPN型双极集成电路 PNP型双极集成电路 金属-氧化物-半导体(MOS)集成电路:主要由MOS晶体管(单极晶体管)构成 NMOS PMOS CMOS(互补MOS) 双极-MOS(BiMOS)集成电路:同时包括双极和MOS晶体管的集成电路为BiMOS集成电路,综合了双极和MOS器件两者的优点,但制作工艺复杂。 按照集成电路规模 小规模集成电路(Small Scale IC,SSI) 中规模集成电路(Medium Scale IC,MSI) 大规模集成电路(Large Scale IC,LSI) 超大规模集成电路(Very Large Scale IC,VLSI) 特大规模集成电路(Ultra Large Scale IC,ULSI) 巨大规模集成电路(Gigantic Scale IC,GSI) 按照结构形式 单片集成电路: 混合集成电路: 按照电路功能 数字集成电路(Digital IC):它是指处理数字信号的集成电路,即采用二进制方式进行数字计算和逻辑函数运算的一类集成电路 模拟集成电路(Analog IC): 数模混合集成电路(Digital - Analog IC) 微电子学中的空间尺度通常是以微米(?m, 1?m=10-6m)和纳米(nm, 1nm = 10-9m)为单位的。 微电子学的特点是什么? 微电子学:电子学的一门分支学科 微电子学以实现电路和系统的集成为目的,故实用性极强。 微电子学是信息领域的重要基础学科 微电子学是一门综合性很强的边缘学科 微电子学是一门发展极为迅速的学科,高集成度、低功耗、高性能、高可靠性是微电子学发展的方向 微电子学的渗透性极强 半导体物理和器件物理基础 什么是半导体? 金属:电导率106~104(W?cm-1),不含禁带; 半导体:电导率104~10-10(W?cm-1),含禁带; 绝缘体:电导率10-10(W?cm-1),禁带较宽; 半导体的特点: (1)电导率随温度上升而指数上升; (2)杂质的种类和数量决定其电导率; (3)可以实现非均匀掺杂; (4)光辐照、高能电子注入、电场和磁场等影响其电导率; 半导体材料锗,硅:地球上含量最丰富的元素之一,微电子产业用量最大、也是最重要的半导体材料。 化合物半导体:III族元素和V族构成的III-V族化合物如,GaAs(砷化镓), 2,本征半导体的定义 完全纯净 结构完整 3,导电机理 本征激发 在较高温度下,由于热激发,使一些价电子获得足够的能量而脱离共价键的束缚,成为自由电子,同时共价键上留下一个空位,称为空穴。这种现象称为本征激发。 4,杂质半导体 N 型半导体:自由电子浓度大大增加的杂质半导体,也称为(电子半导体)。在硅或锗晶体中掺入少量的五价元素磷(或锑) P 型半导体:空穴浓度大大增加的杂质半导体,也称为(空穴半导体)。在硅或锗晶体中掺入少量的三价元素,如硼(或铟), 半导体中的能带,共有化运动 看微电子学概论书的pdf格式 半导体的能带结构(填空选择) 导 导 带 价 带 Eg 价带:0K条件下被电子填充的最外层价电子能级(能量最高)对应的能带 导带: 0K条件下未被电子填充的能量最低的能带 禁带:导带底与价带顶之间能带 带隙:导带底与价带顶之间的能量差(禁带宽度) 导体、绝缘体和半导体的能带(T=0K)比较 导带 导带 禁带 价带 导带 禁带 价带 半满带 满带 绝缘体 半导体 导体 半导体中的载流子:在半导体中,存在两种载流子,电子以及电子流失导致共价键上留下的空位(空穴)均被视为载流子。通常N型半导体中指自由电子,P型半导体中指空穴,它们在电场作用下能作定向运动,形成电流。 迁移率:单位电场作用下载流子获得平均速度,反

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