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实验仪器设备申报表 序号 设备名称 主要性能指标（关键指标打*号） 预算单价 （万元） 台套 数 预算总价 （万元） 1 半导体电学特性综合测试仪 一、主要用途：该半导体电学测试分析系统用于完成各种半导体器件和材料的电学综合性能测试（I-V和I-t），提供测试数据报告，图形和分析功能，无需编制程序。另外此设备需附带氙灯光源系统，测试器件和材料的光电综合性能。 二、技术参数与要求： 1.直流I-V测试单元：配有2个测量单元（每个模块同时满足）： 电流源输出电流/分辨率，测试范围/分辨率/偏置电流： 最小可至*：1pA/1.5fA 1pA(量程)/0.1fA/10fA 最大可至*: 100mA/5μA 100mA(量程)/50nA/3μA 电压源输出电压/分辨率，测试范围/分辨率/偏置电压： 最小可至*: 200mV/5μV 200mV(量程)/0.5μV/80μV 最大可至*:200V/5mV 200V(量程)/200μV/3mV 2.主机具备计算机配置*： （1）可触屏操作； CPU主频2GHz，硬盘容量120GB，前面板至少4个以上USB接口（包含不少于2个USB3.0以上接口），内置100/10 MB以太网络接口，12英寸以上液晶显示器， 不低于Windows 10版本的操作系统。 3.系统软件具有以下功能： *Windows操作, 图形化界面，支持四象限操作；全集成化，无需编制程序； *标准半导体器件参数测试库； 系统内置仪器教学视频和资料，包含中文/英文/日文。 拓展功能*：支持后续的添加C-V测试模块功能升级。 附带氙灯光源系统： 光输出特性*：总光功率不低于40W，且光辐照功率可持续调整；光谱范围至少覆盖320nm-780nm，并能可控地进行不同波段光的辐照，且不同波段光的波长间隔小于20nm；光斑直径在30mm-100mm之间；具有实时辐照值显示功能； 光源稳定性*：长周期辐照不稳定性低于5%（8小时），灯泡使用寿命不低于800小时。 附件：测试用电缆、转接头、测试夹具、配套的键盘和鼠标。 32 1 32 介电性能测试系统 *1. 频率范围：20Hz至30MHz； 2. 测量参数： |Z|,|Y| ,θ, R , X , G , B , C , L , D ,Q, 复数Z, 复数 Y, Vac, Iac, Vdc, Idc； 3. 阻抗测量范围： 25 mΩ~40MΩ（精度± 10%）； 4. 频率分辨率：1mHz； 5. 频率范围可升级，最大可升级到120MHz； *6. 基本阻抗测量精度： ± 0.045% （典型值）； *7. 数据分析：等效电路分析，限制线分析； 8. 直流偏置电平：电压：0V～±40V；电流：0～±100mA； *9. 信号电平监视：电压，电流； 10. 扫描参数：频率，信号电压/电流，直流偏置电压/电流； 11. 扫描类型：线性，对数； *12. 4通道，4条迹线，每条迹线高达10个marker； 13. 测量点数：2～1601； *14. 等效电路模型高达7个，4个3元件模型和3个4元件模型； *15. 电介质测试夹具：频率范围高达30MHz，提供4个电极以适应接触电极法和非接触电极法以及各种MUT尺寸； 16．显示屏：10.4英寸彩色触摸显示屏； 17．接口： USB，LAN，GPIB； 18．具有preset按键； *19. 具有材料测试软件，可转移的许可证，含USB加密狗； 20. 具有USB至GPIB接口的 转接电缆，便于PC对阻抗分析仪的程控； 附件：介电测试夹具，材料测试软件，程控线缆，100Ω电阻器、电源线等； 30 1套 30 3 研究级立体显微镜 1.主机：采用平行光路系统，光学变倍比8:1； 2.放大倍数：标准倍率为7.5X~60X（10倍目镜，1倍物镜下），工作距离83mm以上,整体倍率7.5X~112.5X（10倍目镜，1倍+1.25倍物镜，同轴光源）, 工作距离66mm以上, 含目镜测微尺 3.支架：透反射支架； 4.物镜：配置1倍和1.25倍物镜两只； 5.光源：原厂环形光、斜射光、同轴光（集成1.5倍光学放大） 6 附件：① 双目观察筒② 目镜③ 目镜测微尺④ 1倍平场消色差物镜⑤ 25倍平场消色差物镜⑥ 透反射立柱支架⑦ 同轴光源 ⑧ 供电装置⑨ 防尘罩⑩电源线 10万 1 10万