第12课干涉测量技术.pptVIP

（1）利用Edlen公式修正： （2）对空气折射率进行实时测量； 折射率测量干涉仪 外差干涉 单频激光干涉仪的光强信号及光电转换器件输出的电信号都是直流量，直流漂移是影响测量准确度的重要原因，信号处理及细分都比较困难。 为了提高光学干涉测量的准确度，七十年代起将电通讯的外差技术移植到光干涉测量领域，发展了一种新型的光外差干涉技术。 1970年美国 HP 公司的双频激光干涉仪 HP5500A首先投入市场 概念：光外差干涉是指两只相干光束的光波频率产生一个小的频率差，引起干涉场中干涉条纹的不断扫描，经光电探测器将干涉场中的光信号转换为电信号，由电路和计算机检出干涉场的相位差。 特点： 克服单频干涉仪的漂移问题； 细分变得容易； 提高了抗干扰性能。 外差干涉的光源 塞曼激光器：在He－Ne激光器中施加横向或者纵向磁场，由于塞曼效应导致谱线分裂，形成有一定频率差的一个左旋偏振光和一个右旋偏振光，横向塞曼频差约 300kHz，纵向塞曼频差约 1.5MHz 移动（旋转光栅）：当一束单频激光打在一个运动的光栅上，由于多普勒效应，不同衍射级次的激光会产生一个与光栅运动速度成正比的频移 声光调制器（AOM）：声光调制器中的超声波压缩声光介质，在里面产生密度的分布，形成等效光栅，光栅周期可以由声光调制频率确定，光栅相位取决于激发电源的相位，因此AOM中等效于一个移动的光栅 扫描探测器（xi, yi） 基准探测器（x0, y0） （a） Δt 1/Δν t i(x, y, t) （b） 外差干涉图样和电信号 在干涉场中，放入两个探测器，一个放在基准点(x0, y0)处，称之为基准探测器，其输出基准信号i(x0, y0, t)，另一个放在干涉场某探测点(xi, yi)处，称之为扫描探测器，输出信号为i(xi, yi, t) 。将两信号相比，测出信号的过零时间差Δt，便可知道二者的光学位相差 双频激光干涉仪光路图 测量反射镜运动产生的多普勒频移 Michelson birefringent grating 等倾干涉与等厚干涉 等倾干涉： 等厚干涉： 干涉仪(Interferometer) Albert Abraham Michelson 迈克尔逊因发明干涉仪和光速的测量而获得1907年诺贝尔物理学奖金。 S M1 M2 G1 G2 E M2? a1 a1′ a2 a2′ 半透半反膜 补偿板 反射镜 反射镜 光源 观测装置 虚薄膜 由M2反射的光束可以当作是从它虚像M2′反射过来的，这样，发生干涉的光束相当于M1与M2′之间的空气薄膜反射形成的。 M 2 M 1 M 2 M 2 M 2 M 2 M 2 M 2 M 2 M 2 M 2 M 1 M 1 M 1 M 1 M 1 M 1 M 1 M 1 M 1 与 重 合 等 厚 干 涉 条 纹 等 倾 干 涉 条 纹 迈克耳逊干涉仪的干涉条纹 吐级 吞级 移级 干涉测量系统组成 1.激光干涉系统 2.条纹计数计数和处理结果的电子机械系统 干涉仪系统主要包括：光源、分束器、反射器、补偿元器件 激光头 干涉仪本体 稳频器 氦氖激光器 准直透镜 光电组合体 光电转换 放大 鉴向倍频 整形 大气修正 计算机 输出 激光干涉仪中的光源 最主要的要求就是波长的单色性和稳定性，波长的稳定性直接影响测量的不确定度，所以大多数激光干涉仪采用稳频 He-Ne激光器，波长632.8nm，波长稳定性可以达到10-7 “米”的定义 米原器：铂铱合金 氪86原子谱线607.5nm波长：稳定性4x10-9 光速：299 792 458m/s，推荐了八种激光器 甲烷稳频3.39um He-Ne激光 碘稳频576nm 染料激光 碘稳频633nm He－Ne激光 碘稳频612nm He－Ne激光 碘稳频515nm 氩离子激光 碘稳频543nm He－Ne激光 碘稳频640nm