改良西门子法生产多晶硅精馏工艺的改进.docVIP

下载本文档

39
0
约5.6千字
约 4页
2019-09-23 发布于天津
举报
版权申诉

改良西门子法生产多晶硅精馏工艺的改进.doc

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

收稿日期基金项目青海省重点企业技术创新项目第一作者刘刚男青海人工程师通讯作者王舒娅女籍贯山东硕士研究生助理研究员从事工艺研究刘刚秦榕刘生章王舒娅青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司西宁中国科学院青海盐湖研究所西宁摘要改良西门子法是目前国内外多晶硅厂家最常用的方法对提纯三氯氢硅的三塔精馏工艺进行改进结果表明改进后的四塔精馏工艺可以进一步降低三氯氢硅中硼磷等杂质的含量最终精馏塔顶馏出物高纯三氯氢硅纯度达到关键词多晶硅西门子法杂质精馏工艺改进中图分类号文献标志码文章编号多晶硅材料是半导体集成电

收稿日期：2013-03-01 基金项目：青海省重点企业技术创新项目（2011-JC-07）; 第一作者：刘刚，1978.8，男，青海人。工程师通讯作者：王舒娅（1983-），女，籍贯：山东。硕士研究生，助理研究员，从事工艺研究。E-mail:wsy@163.com doi：10.3969/j.issn.1007-7545.2013 doi：10.3969/j.issn.1007-7545.2013.09.015 刘刚1，秦榕1，刘生章1，王舒娅2 （1.青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司，西宁 810000；2.中国科学院青海盐湖研究所，西宁 810000）摘要：改良西门子