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2019-09-29 发布于福建
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薄膜技术与应用.ppt

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铜铟镓硒（CIGS）薄膜;薄膜太阳能电池目前主要分为非晶硅薄膜太阳能电池、碲化镉（CdTe）薄膜太阳能电池、铜铟镓硒（CIGS）薄膜太阳能电池三类。仅在数年以前，薄膜光伏技术在光伏产业中还只能用“微不足道”来形容，但在今天，其生产份额不断扩张。;薄膜电池与传统硅晶电池的比较;铜铟镓硒（CIGS）薄膜;共蒸发法实验设备示意图;三步共蒸发法工艺;基底温度较低的情况下（400°C）蒸发In、Ga、Se形成一层In-Ga-Se预置层。控制原子比例In:Ga=0.7 : 0.3, In+Ga/Se=2:3 升高基底温度到570°C，蒸发Se、Se.借助低熔点的Cu2-xSe,形成表面富Cu的CIGS薄膜。少量的In,Ga,Se沉积以形成少量贫铜的CIGS薄膜。; 溅射后硒化法;预置层的硒化;磁控溅射系统示意图;铜铟镓硒（CIGS）薄膜产品与应用;市场应用前景;