透射电镜结构.pptVIP

计算机技术的应用 透射电子显微镜的发展还表现在计算机技术和微电子技术的应用。计算机技术和微电子技术的应用使透射电子显微镜的控制变得简单，自动化程度大大提高，整机性能提高。 在透射电子显微镜的观察与记录系统中增加摄像系统，使分析观察更加方便，而且能连续记录。近几年慢扫描CCD相机越来越多地取代传统的观察与记录系统，将透射电子信号（图象）传送到计算机显示器上，不仅方便观察记录，而且与网络结合使远程观察记录成为可能 总结 透射电子显微镜主要组成部分是照明系统、成像系统和观察记录系统。 成像系统中的物镜是显微镜的核心，它的分辨率就是显微镜的分辨率。成像系统可以实现两种成像操作：一种是将物镜的像放大成像，即试样形貌观察；另一种是将物镜背焦面的衍射花样放大成像，即电子衍射分析。 总结 样品台是透射电子显微镜的重要附件之一，它可以实现样品的平移、倾斜和转动操作从而便于样品的观察分析；高温台、低温台和拉伸台等可以进一步扩大透射电子显微镜的功能。 光阑在透射电子显微镜的光路中是用来限制电子束的发散角。 三个可动光阑：第二聚光镜光阑、物镜光阑和选区光阑的位置和作用是各不相同的。 衍射效应的分辨率和球差造成的分辨率 比较式（5-2）和（5-10），可以发现孔径半角α对衍射效应的分辨率和球差造成的分辨率的影响是相反的。 提高孔径半角α可以提高分辨率Δr0，但却大大降低了ΔrS。因此电镜设计中必须兼顾两者。唯一的办法是让ΔrS=Δr0，考虑到电磁透镜中孔径半角α很小（10-2-10-3rad），则 （5-13） 那么ΔrS=Δr0， 即： 整理得： （5-14） 将上式代入（5-13）， （5-15） 根据式（5-15）和（5-16），透射电镜孔径半角α通常是10-2-10-3rad；目前最佳的电镜分辨率只能达到0.1nm左右。 景深 电磁透镜饿景深是指当成像时，像平面不动（像距不变），在满足成像清晰的前提下，物平面沿轴线前后可移动的距离 当物点位于O处时，电子通过透镜在Oˊ处会聚。让像平面位于Oˊ处，此时像平面上是一像点；当物点沿轴线渐移到A处时，聚焦点则从Oˊ沿轴线移到了Aˊ处，由于像平面固定不动，此时位于Oˊ处的像平面上逐渐由像点变成一个散焦斑。如果衍射效应是决定电磁透镜分辨率的控制因素，那么散焦斑半径R0折算到物平面上的尺寸只要不大于Δr0，像平面上就能成一幅清晰的像。 轴线上AB两点间的距离就是景深Df。 由图5-9的几何关系可推导出景深的计算公式为： （5-16） 焦长 焦长是指物点固定不变（物距不变），在保持成像清晰的条件下，像平面沿透镜轴线可移动的距离。 当物点位于O处时，电子通过透镜在Oˊ处会聚。让像平面位于Oˊ处，此时像平面上是一像点；当像平面沿轴线前后移动时，像平面上逐渐由像点变成一个散焦斑。只要散焦斑的尺寸不大于R0（折算到物平面上的尺寸不大于Δr0），像平面上将是一幅清晰的像。此时像平面沿轴线前后可移动的距离为DL：由图5-10中几何关系得： 透射电镜的结构 图5-11是透射电镜的外观照片。 通常透射电镜由电子光学系统、电源系统、真空系统、循环冷却系统和控制系统组成，其中电子光学系统是电镜的主要组成部分。 透射电镜的结构 图5-12是电子光学系统的组成部分示意图。由图可见透射电镜电子光学系统是一种积木式结构，上面是照明系统、中间是成像系统、下面是观察与记录系统。 照明系统 照明系统主要由电子枪和聚光镜组成。 电子枪是发射电子的照明光源。 聚光镜是把电子枪发射出来的电子会聚而成的交叉点进一步会聚后照射到样品上。 照明系统的作用就是提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源。 电子枪 电子枪是透射电子显微镜的电子源。 常用的是热阴极三极电子枪，它由发夹形钨丝阴极、栅极帽和阳极组成， 图5-13（a）为电子枪的自偏压回路，自偏压回路可以起到限制和稳定束流的作用。 图5-13（b）是电子枪结构原理图。在阴极和阳极之间的某一地点，电子束会集成一个交叉点，这就是通常所说的电子源。交叉点处电子束直径约几十个微米。 灯丝 聚光镜 聚光镜用来会聚电子枪射出的电子束，以最小的损失照明样品，调节照明强度、孔径角和束斑大小。一般都采用双聚光镜系统，如图5-14所示。第一聚光镜是强激磁透镜，束斑缩小率为10～50倍左右，将电子枪第一交叉点束斑缩小为1～5μm；而第二聚光镜是弱激磁透镜，适焦时放大倍数为2倍左右。结