单晶炉机械结构简介.pptVIP

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2019-09-30 发布于福建
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单晶炉机械结构简介.ppt

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维修和炉基水构造中环光优内豪古山环光伏前有限公司晶体制造部环光内容 1.概述 6.真空系统 x2.主炉体基本构造 7.液压系统 3.籽晶旋转提升机构8.控制系统 4.副炉室旋转机构 10.氩气系统 5.坩埚提升旋转机构环光概述单晶炉全称:全自动直拉单晶生长炉(单指本公司现有设备)现有型号为:KXPV110、 KAYEX170、国产TDR95、TDR100和TDR105五种炉型。工作原理:在惰性气体(氩气)环境中,用石墨电阻加热器将多晶硅材料溶化,在特定温度区域内采用软籽晶轴提升旋转机构,对原籽晶进行匀速旋转提升,于此同时坩埚随着单晶的生长匀速旋转提升,实现生长成无位错单晶硅棒。环光二、主炉体基本构造单晶炉炉体(包括炉底板、主炉室、炉盖、隔离阀室、副炉室、籽晶提升旋转机构和坩埚提升旋转机构)由304不锈钢制造。所有腔体都经过缺陷炉室检査和探伤检验,并且经过0.6MPa水压试验和氦质谱检漏仪检漏。 A环光主炉体主要组成晶体提升旋转机构隔离阀观察窗下炉室控制柜坩埚提升旋转机基座