赛瑞达PECVD介绍实习总结报告.ppt

实习总结报告 * 目录 一. 镀膜的目的和原理 二. 管P的介绍 三. 镀膜步骤 四. 镀膜常见异常与处理方法 五. 个人心得体会 镀膜目地 一 钝化 对电池的正表面进行H钝化 二 降低反射 在电池片正表面镀一层减反增透膜 ，减少光的反射， 增加电池对光的吸收 三 保护电池 对电池正表面进行保护，防止氧化 一.镀膜的目地和原理 PECVD 技术原理是利用强电场或者磁场使所需的气体源分子电离产生等离子体，等离子体中含有很多活性很高的化学基团，这些集团经一系列化学和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。 其主要化学方程式为 3SiH4 +4NH3 →SiN4+12H2↑ 3SiH4 →SiH3+SiH22-+SiH3-+6H+ 2NH3 →NH2-+NH2-+3H+ 一.镀膜的目地和原理 镀膜原理 PECVD的名称及种类 PlasmaEnhancedChemicalVapour Deposition 直接式—基片位于一个电极上，直接接触等离子体（低频放电10-500kHz或高频13.56MHz） 代表：管式PECVD 间接式—基片不接触激发电极（如2.45GHz微波激发等离子） 代表：板式PECVD 一.镀膜的目地和原理 * 管式镀膜设备整体结构 二. 管P的介绍 * 管式镀膜石墨舟位置 二. 管P的介绍 * 管式镀膜放电情况 二. 管P的介绍 正常淀积时，放电辉光颜色为暗红色，若颜色异常，应及时检查各工艺参数是否在控制范围内 * 管式镀膜射频电源 二. 管P的介绍 在Remote下setpoint指示灯亮，说明射频源的功率是受工艺方案控制的，若指示灯不亮，说明不受工艺方案控制，为了防止意外，将射频电源的功率设置和工艺方案里面的设置一样 setpoint * 管式镀膜尾部抽气 二. 管P的介绍 抽气采用慢抽和主抽两种方式，当腔体为常压时，采用慢抽，当压强抽到1000Pa以下时，设备会自动开启示主抽 慢抽 主抽 * 管式镀膜尾部整体结构 二. 管P的介绍 慢抽 主抽 射频电源线 压力表1 压力表2 碟阀 * 管式镀膜压力控制 二. 管P的介绍 电接点压力表 mks 电接点压力表是用来测量常压到真空这一段压强大小的压力计，设备根据其测量的数值控制炉门的开关，以及氮气的填充，mks是用于精确测量镀膜时工艺腔体压强的压力计，设备根据其数值的大小控制碟阀的开度 * 管式镀膜气路系统 二. 管P的介绍 通过质量流量计来测量并控制淀积所需的工艺气体的流量，特气的开关通过系统控制电磁阀，电磁阀控制气动阀来控制 * 管式镀膜进气管路 二. 管P的介绍 进气采用炉门环形进气的方式，氨气和硅烷在未到达反应腔体前充分混合，减少色差片的产生几率 混合处 * 管式镀膜加热系统 二. 管P的介绍 * 管式镀膜加热系统 二. 管P的介绍 管P整个横温区长度为1200mm，为图中炉管虚线两端的距离。整个炉管长为2000mm，五个温区长分别为40cm、30 cm、60 cm、30 cm、40 cm。炉体温度分五段控制，采用五点Spike温度控制，并采用双路测温，主测热偶断路，将自动切换至另一热偶。 * 管式镀膜石墨舟结构 二. 管P的介绍 * 三. 镀膜步骤 管式镀膜工艺步骤 * 三. 镀膜步骤 管式镀膜槽式制绒镀膜工艺 * 三. 镀膜步骤 管式镀膜Nena制绒镀膜工艺 * 三. 镀膜步骤 管式镀膜返工镀膜工艺 * 三. 镀膜步骤 管式镀膜返工镀膜工艺 * 三. 镀膜步骤 管式镀膜镀舟工艺 四. 镀膜常见异常与处理方法 四. 镀膜常见异常与处理方法 * 颜色 厚度（nm） 颜色 厚度（nm） 颜色 厚度（nm） 硅本色 0-20 很淡蓝色 100-110 蓝 色 210-230 褐 色 20-40 硅 本 色 110-120 蓝绿色 230-250 黄褐色 40-50 淡 黄 色 120-130 浅绿色 250-280 红 色 55-73 黄 色 130-150 橙黄色 280-300 深蓝色 73-77 橙 黄 色 150-180 红 色 300-330 蓝 色 77-93 红 色 180-190 　 　 淡蓝色 93-100 深 红 色 190-210 　 　 氮化硅颜色与厚度的对照表 四. 镀膜常见异常与处理方法 为什么新舟需要做表面预淀积？ 新石墨舟在未处理前，石