平面电动机的发展现状（Ⅰ）.pdfVIP

微特电棚 2011年第1期 … … ． 平面 电动机 的发展现状 (I) 寇宝泉 ，张 赫，潘东华，张 鲁，李立毅 (哈尔滨 E业大学，黑龙江哈尔滨 150001) 摘 要：对国内外平面电动机的研究现状和应用情况进行 了综述。平面电动机具有二维直接驱动的特点，作 为可以实现高精度、高频响的平面定位装置，近年来受到广泛关注。文章对变磁阻型、感应型以及部分永磁型平面 电动机的结构、原理和特点进行了归纳总结。 关键词：平面电动机；平面直驱；结构；变磁阻型；感应型 中图分类号：TM35 文献标识码：A 文章编号：1004-7018(2011)1-0061-04 Developmentof2DPlanarMotors(I) KOU Bao—quan，ZHANG He，PAN Dong—hua，ZHANG Lu，LILi-yi (HarbinInstituteofTechnology，Harbin150001，China) Abstract：Theresearchstatusandapplicationofplanarmotorsbothdomesticandatabroadwereinvestigatedinthispaper． Plnaarmotorshavethemerltof2D direct—drivena dhaveattractedincreasedinterestinrecentyearsbecauseitcouldachieve2D positioningwithhi曲一precisionandhi frequencyresponse．Thestructure，workingprincrpleandchraacteristicsofvariablere— luctaneeplanarmotor，inductionplanra motornadapartofpermanentmagnetplanra motorweresummarizedinthispaper． Keywords：planarmotor；2D direct-drive；structure；variablereluctance；induction 即平面电动机。与传统的定位工作台相 比，平面电 0引 言 动机的运动轨迹不是两个相互垂直的导轨在运动方 ； 目前 ，实际应用 中较为广泛的能够实现二维驱 向上的合成，而是直接利用电磁能产生平面定位运 动及定位的方法有三种 ：一是压电陶瓷配合柔性铰 动，具有出力密度高、热耗低、精度高等特点，另外 由 链机构进行驱动 ，二是利用传统 的旋转电机驱动 ，三 于摒弃了丝杠、螺杆等中间转换装置，故可以实现控 ； 是利用直线电机进行直接驱动。虽然这三种机构都 制对象和平面电动机 的一体化 ，因而具有响应速度 可以实现二维平面定位，但是均存在着不同方面的 快、灵敏度高、随动性好 以及体积小等优点。根据电 缺陷。柔性铰链机构和压 电陶瓷驱动元件所组成的 磁推力的产生原理，可将平面电动机分为变磁阻型、 系统易实现整体式结构、位移控制精度高、功耗小， 感应型和永磁型三大类，其中变磁阻型又包含 了步 但是柔性铰链 的阻尼 、小行程 ，以及压 电陶瓷 的迟 进式和开关磁阻式两种。 ； i 滞、非线性等特性对工作台性能的提高会带来不利