外文翻译混合压电致动式微型阀.docVIP

混合压电陶瓷硅微型阀 摘要 介绍了一个低电压、低能耗的、用于集成电池供电的便携式微流体平台的微型阀的设计、制造和实验特点。此微型阀采用激光加工的压电双的机械连接镍表面微机械结构的锚定在瓦楞纸上的Si N-聚对二甲苯复合膜系绳。聚对二甲苯层也用作一个阀座上的兼容的密封层，用于减少在关机状态下的泄漏。以自对准的方式连接大容量的压电单晶片到微机械膜片的机械连接工艺已经研制成功。该设计使在低驱动电压（10 V）下，达到最大行程（2.45微米），能够消耗相对较低的开关能量（678nJ）。通过调制孔板上的间隙测量的流速的依赖关系被发现（1-100）在低雷诺数条件下与层流理论能够很好的符合。微型阀的实验特征在于气体和液体的流动。例如，在10 V下单压电晶片的致动，在压力差为9.66kPa时测定气体流量为420微升/分钟。0 V驱动关闭状态的泄漏率估计为10-20微升/分钟。在典型流速率—20Vpp（1千赫）、50％的占空比、脉冲宽度调制（PWM）致动下，经测定在气压为6.9 kPa下气体流速率为770微升/分钟，在气压为4.71千帕下液体流速率2.77u L / min。 关键词：磁性挤压，微型阀，压电单晶片。 I.简介 微流体设备组成部分（微型阀，微型泵，流量传感器，过滤器等）的发展，实验室芯片的集成必须时刻谨记子组件兼容性的制造工艺。此外，需要电池供电的便携式微流控平台领域和手持操作应用要