MEMS技术 第六讲 噪声与器件的性能.pptVIP

MEMS和微系统设计 课程的基本目的 掌握MEMS设计的基本过程 掌握mems机电及其耦合分析的基本理论 掌握机电结构微器件的性能分析方法 了解热、流体的基本理论 了解MEMS的发展前沿知识 培养对MEMS的兴趣 课程内容 MEMS概述及MEMS设计的概述 工艺简要回顾 系统设计、工艺设计及版图设计 主要的机械、电子元件及其设计基础 多域耦合设计：以机电耦合为例子 器件性能的估计 简单的其他域的元件及其简要设计要点 设计实例 本章提纲 噪声处理的基本知识和类型 器件的分辨率 系统的分辨率 Noise Noise: Random fluctuation of a given parameter I(t) In addition, a noise waveform has a zero average value Noise Spectral Density We can plot the spectral density of this mean-square value: Circuit Noise Calculations Deterministic: Random: Handling Noise Deterministically Can do this for noise in a tiny bandwidth (e.g., 1 Hz) Systematic