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第9章 半导体式传感器 主要内容： 9.1 气敏传感器 9.2 湿敏传感器 9.3 色敏传感器 概述 概述 概述 9.1 气敏传感器 9.1 气敏传感器 9.1.1 半导体气敏传感器工作原理 9.1 气敏传感器 9.1.1 半导体气敏传感器工作原理 9.1 气敏传感器9.1.1 半导体气敏传感器工作原理 9.1 气敏传感器9.1.2 半导体气敏传感器类型及结构 9.1 气敏传感器9.1.2 半导体气敏传感器类型及结构(1) 电阻型半导体气敏传感器 9.1 气敏传感器9.1.2 半导体气敏传感器类型及结构 9.1 气敏传感器9.1.2 半导体气敏传感器类型及结构(2) 非电阻型半导体气敏传感器 9.1 气敏传感器9.1.2 半导体气敏传感器类型及结构 9.1 气敏传感器9.1.2 半导体气敏传感器类型及结构(2) 非电阻型半导体气敏传感器 9.1 气敏传感器9.1.3 半导体气敏传感器应用 9.1 气敏传感器9.1.3 半导体气敏传感器应用 9.1 气敏传感器9.1.3 半导体气敏传感器应用 9.1 气敏传感器9.1.3 半导体气敏传感器应用 9.1 气敏传感器9.1.3 半导体气敏传感器应用 9.2 湿敏传感器9.2.1 氯化锂湿敏电阻 9.2 湿敏传感器9.2.2 半导体陶瓷湿敏电阻 9.2 湿敏传感器9.2.2 半导体陶瓷湿敏电阻 9.2 湿敏传感器9.2.3 湿敏传感器的应用电路 9.2 湿敏传感器9.2.3 湿敏传感器的应用电路 9.2 湿敏传感器9.2.3 湿敏传感器的应用 9.3 色敏传感器 9.3 色敏传感器 9.3 色敏传感器 9.3 色敏传感器 本章要点 传感器原理及应用 第9章 半导体传感器 氯化锂湿敏电阻——电解质湿敏电阻 利用物质吸收水分子使导电率发生变化检测湿度。 在氯化锂（LiCl）溶液中，Li和Cl以正负离子的形式存在，锂离子（Li+）对水分子的吸收力强，离子水合成度高，溶液中的离子导能力与溶液浓度成正比，溶液浓度增加，导电率上升,电阻率ρ下降 。 当溶液置于一定湿度场中，若环境RH 上升，溶液吸收水分子使浓度下降 电阻率ρ 上升，反之RH下降，溶液浓度上升，电阻率ρ下降。 RH 吸湿——浓度 R RH 脱湿——浓度 R 氯化锂湿敏电阻 通过测量溶液电阻R值实现对湿度测量。 传感器原理及应用 第9章 半导体传感器 半导体陶瓷湿敏电阻（半导瓷） 通常用两种以上的金属—氧化物—半导体烧结成多孔陶瓷，材料有正温度系数和负温度系数两种。 负特性湿敏半导体瓷的导电机理 水分子氢原子具有很强的正电场，水分子在半导瓷表面 吸附时从表面俘获电子，使半导瓷表面带负电。 P型半导体 —— 水分子吸附表面电势下降，吸引空穴到达表面， 使表面层电阻下降； N型半导体—— 水分子吸附表面电势下降，表面电势下降较多时， 电子耗尽，同时吸引更多的空穴到达表面，可能使 表面层的空穴浓度大于电子浓度，出现反型层，这 些反型载流子同样可以在表面迁移而表现出电导特 性。 水分子吸附时表面电阻也会下降。 P N 传感器原理及应用 第9章 半导体传感器 负特性湿敏半导体瓷湿敏电阻，电阻随湿度增加而下降。由于水分子中氢原子具有很强的正电场，当水分子在半导体瓷表面吸附时可能从半导体瓷表面俘获电子，使半导体表面带负电，相当表面电势变负，电阻率随湿度增加而下降。 正湿敏特性半导体瓷湿敏电阻（例：Fe3O4），材料结构、电子能量状态与负特性不同，总的电阻值升高没有负特性阻值下降的明显。 传感器原理及应用 第9章 半导体传感器 湿 度 控制 RC振荡器 J1增湿设备 J2干燥设备 RH负特性湿敏电阻 J1 J2 H2 H1 RP1、 RP2湿度调节 湿度上升RH下降VT3截止，VT4导通，J2接通干燥设备，LED2点亮； 同时VT2截止，VT1截止，J1失去电流释放，关闭增湿设备； 湿度下降RH上升VT3导通，VT4截止，J2释放。 传感器原理及应用 第9章 半导体传感器 RH为VT提供偏流，RH插入土壤，湿度不同传感器阻值不同，基极电流不同， 使