电池RENA制绒操作.ppt

RENA新机型INTEX设备简介 一。设备的外观全貌 * 二。制绒工艺 1.工艺原理：RENA制绒工艺主要包括三部分： 硝酸与氢氟酸混合液 → 氢氧化钾 → 盐酸与氢氟酸混合溶液 在制绒过程中，首先是硝酸在损伤层与缺陷处将硅片氧化，形成氧化硅，然后氢氟酸与氧化硅反应生长硅的络合物（H2SiF6）与水，这样去损伤层与制绒同时进行，从而缩短了工艺流程。 制绒之后的硅片经过DI水冲洗酸性表面，然后用KOH溶液去除硅片表面的多孔硅及少量残留酸液，再经过DI水冲洗去掉表面残留的碱液，最后利用HF与HCl的混合溶液除去硅片表面的多孔硅和各种金属离子等杂质，并用DI水冲洗酸性表面，最后用热风烘干硅片表面。 制绒过程的反应方程式如下： 1) Si+4HNO3=SiO2+4NO2+2H2O 2) SiO2+4HF=SiF4+2H2O 3) SiF4+2HF=H2SiF6 2. INTEX大致构造及工艺流程： INPUT→HNO3/HF制绒→冲洗1→KOH腐蚀→冲洗2→HF/HCl清洗→冲洗3→烘干→OUTPUT “一化一水”，硅片每经过一次化学品，都会经过一次水喷淋清洗。 INPUT HNO3/HF 制绒 水 喷 淋 碱洗槽 KOH 水 喷 淋 HF/HCl 清洗 水 喷 淋 OUTPUT 热 风 干 燥 三。设备操作规程 1 .开机步骤： a.首先将药液供应的手阀门打开 b.关闭所有防护门和所有服务及维护模式时打开的盖板和窗户 c.将所有急停按钮解开 d.将连接设备的主电源打开 e.移开UPS处的盖子，将UPS主电源打开 d.将电脑电源打开 e. 登陆WINDOWS界面，点图标Start WinLC RTX启动软件PLC f. 将制冷剂的主电源打开(等待桌面PLC上run和on指示灯 变成绿色） g.双击Start REVIS h.最后按下操作台的“ON”按钮 i.以“Engineers”级别权限的用户登陆软件，确认所有报 警，将模式切换到“Manual”模式，给每个功能模块加载相 应工艺方案，按下“Write to PLC” j.添加制冷机系统--添加工艺槽补液罐/ 添加碱槽的补液罐/ 添加酸槽的补液罐/ 添加DI水补液罐 k.添加工艺槽的pump tank/ 添加Rinse1-3的pump tank/ 添加碱槽的pump tank/ 添加酸槽的pump tank/ 添加所有Rinse，确认全部达到READ l.此时以Operator身份登录，点击“Start production”便可加液生产。 2. 生产中的按键功能对照： Drivers stop?滚轮驱动停止 Drivers continue?滚轮驱动继续 Lock pane?锁窗格 Unlock pane?解锁窗格 Reset wafer counter?清空硅片计数器 3.取液步骤：a.确定设备是在自动或暂停状态 b.以“Engineers”级别权限登入，这时“Sampling”按键被激活 c.依次点击Intex?General?Show d.按下“Release Sampling temporary” e.到设备后面按住Sampling 5秒开始取样，取样完毕将挡板盖好 f.将用户切换回Operator级别。 4.班组生产结束后的停机步骤： a.按下“Intex-show” b.按下“Scheduled stop”(此状态设备滚轮工艺过程不会立即停止，会按速度计算最后一片出设备的时间，然后停止滚轮和工艺。注意：“Unscheduled stop”是立即停止。) c.按下“yes” 5.关机断电步骤：a.执行Scheduled stop b.以“Engineers”级别权限的用户登陆 c.排空所有Pump tank,然后排空所有dosage tank d.冲洗所有dosage tank，然后冲洗所有Pump tank e.冲洗完毕按下“off” f.关闭软件和电脑以及制冷机，最后关闭控制面板 的“Off” g.关闭所有供应阀门（水、气、药液） h.关闭设备电源和主电源