MEMS电容加速度计.pptVIP

* ⑵、电容传感器的灵敏度： 有的定义相对灵敏度： 灵敏度S是d0的函数，d0 越小，灵敏度越高，但d0减少，非线性增大。 ⑶、非线性误差分析： 在 中只取2次项 则相对非线性误差为： 变面积式的电容式MEMS器件原理 如图（2-1）表示通过动板极移动，引起 两极板有效覆盖面积S改变，使电容变化。 电容相对变化： 灵敏度为： 注意：极板移动时，一定要保持d不变。 b l 图2-1 见图（ 2-2） 其中a为齿宽，b为y方向的宽度 注意：△x＜a时成立，无限远的运动会形成周期性变化。 x a y 图2-2 变介电常数的电容式MEMS器件原理 如图3-1，在电容器板间通过厚为d，相对介电常数为 εr介质，电容为 ,若通过的介质相对介电 常数增加△εr，列如湿度增加，成分变化时，电容增 加为： 为灵敏度因子； 为非线性因子； （3-1） a d 图（3-1） 将（3-1）式展开为： N2、N3都与d/（