单晶制绒设备.pptVIP

酸洗、去PSG设备开机运行操作及关机 酸洗、去PSG开机前检查、运行操作及关机请参照制绒机。 酸洗设备 去PSG设备  甩干机 甩干设备开机前检查 压缩空气、氮气、纯水： 阀门处于打开状态，压缩空气、氮气压力4-6bar。 DI水阀 CDA阀 N2阀 甩干机运行及操作 第一步：打开电源开关，在触摸屏“参数设置”画面中设置工艺参数，并点击“低温开”、“高温开”按钮。 甩干机运行及操作 第二步：等待温度控制器上的温度显示达到设定值； 第三步：点击“开门”按钮，打开盖板，放入装载硅片的片盒后，双手按住“关门”按钮，直至盖板关到位； 第四步：按“运行”按钮进行工作； 第五步：甩干结束，蜂鸣器响后按“开门”按钮，打开盖板取出片盒。 甩干机的关机 1、打开盖板确认旋转盘内无片盒； 2、关闭盖板，将电源开关切换到关的状态； 3、打开电控柜门，关闭电源 4、关闭DI水\N2\CDA阀门 电源开关 电控柜内总电源 中联酸洗机 中联酸洗机比较与JJC酸洗机除多了自动烘干功能外，其它工艺均一致。 开机检查及关机参照制绒设备。 正面图 背面图 中联酸洗机 热风烘干系统 加热鼓风设备 中联酸洗机的运行操作 打开电源后，按触摸屏下方的“电源启动”按钮，启动后按“运转准备”按钮，等待触摸屏进入操作主画面。 电源启动 运转准备 中联酸洗机的运行