平面度计算方式.docVIP

一、平面度定義: 平面度測量是指被測實際表面對其理想平面的變動量。平面度誤差是將被測實際表面與理想平面進行比較，兩者之間的線值距離即為平面度誤差值 二、理想平面計算方式 -- 迴歸分析(Regression): 迴歸分析原理 a. 目的在於找出一條最能夠代表所有觀測資料的函數（迴歸估計式）。 b. 用此函數代表因變數和自變數之間的關係 三、TRI 7700Q平面度量測範例: 在平面上取得16個點的X, Y座標與Z絕對高度數據如下, 利用回歸分析算出理想平面函數: a0+a1*X+a2*Y = Z 得到三個參數a0, a1, a2, 將X, Y座標帶入理想平面公式, 得到每一點的理想平面高度Zs= a0+a1*X+a2*Y , 計算所有點的(原始高度-理想平面高度)得到差值Z-Zs=delta, 平面度結果即為Flatness=MAX(delta)-MIN(delta) 平整度數據與趨勢圖