电阻传感器第五章.pptVIP

第五章 电阻传感器 本章学习电阻式传感器的原理及应用，包括：电位器、电阻应变片等。 第二节 电阻应变式传感器 导体或半导体材料在外界力的作用下，会产生机械变形，其电阻值也将随着发生变化，这种现象称为应变效应。 电阻应变式传感器主要由电阻应变片及测量转换电路等组成。 一、工作原理应变片的工作原理 二、应变片的种类与结构 应变片可分为金属应变片及半导体应变片两大类。前者可分成金属丝式、箔式、薄膜式三种。 目前箔式应变片应用较多。箔式应变片中的箔栅是金属箔通过光刻、腐蚀等工艺制成的。箔的材料多为电阻率高、热稳定性好的铜镍合金。箔式应变片与片基的接触面积大，散热条件较好，测量时的蠕变较小，一致性较好，适合于大批量生产。还可以对金属箔式应变片进行适当的热处理，使其线胀系数、电阻温度系数以及被粘贴的试件的线胀系数三者相互抵消，从而将温度影响减小到最小的程度。 箔式应变片的外形 半导体应变片及金属丝式应变片的结构 半导体应变片外形 应变片主要性能指标举例 三、测量转换电路——不平衡电桥 四、应变效应的应用 应变效应可以测量应变应力、弯矩、扭矩、加速度、位移等物理量。 电阻应变片的应用可分为两大类： 第一类是将应变片粘贴于某些弹性体上，并将其接到测量转换电路，这样就构成测量各种物理量的专用应变式传感器。敏感元件一般为各种弹性体，传感元件就是应变片，测量转换电路一般为桥路； 第二类是将应变片贴于被测试件上，然后将其接到应变仪上就可直接从应变仪上读取被测试件的应变量。 应变式力传感器 各种悬臂梁 应变片在悬臂梁上的粘贴及变形 应变式荷重传感器外形及受力位置 汽车衡 汽车衡称重系统 电子秤 电子天平 人体秤 吊钩秤 应变式数显扭矩扳手 压阻式固态压力传感器  利用扩散工艺制作的四个半导体应变电阻处于同一硅片上，工艺一致性好，灵敏度相等，漂移抵消，迟滞、蠕变非常小，动态响应快。 压阻式固态压力传感器的隔离、承压膜片 隔离、承压膜片可以将腐蚀性的气体、液体与硅膜片 隔离开来。 压阻式固态 压力传感器 内部结构 信号处理电路 小型压阻式固态压力传感器 高压进气口 投入式液位计 投入式液位计外形 压阻式固态压力传感器 电阻应变仪 下图所示的静态应变仪测量范围：±19999με； 分辨率： 1με；电桥电压：直流2.5V； ?应变片：120Ω或其他阻值； 测量点数：8/16点； 电阻应变仪 与计算机接口的多路电阻应变测量模块 金属应变片的电阻变化范围很小，如果直接用欧姆表测量其电阻值的变化将十分困难，且误差很大。 例如，有一金属箔式应变片，标称阻值R0为100?，灵敏度K=2，粘贴在横截面积为9.8mm2的钢质圆柱体上，钢的弹性模量E=2?1011N/m2，所受拉力F=0.2N，受拉后应变片的阻值R 的变化量仅为2 ?10-5?，所以必须使用不平衡电桥来测量这一微小的变化量。 电阻应变片的测量电路 直流电桥平衡条件 当RL→∞时，电桥输出电压为 当电桥平衡时，Uo=0，则有 电压灵敏度 应变片单臂工作时：电阻值变化很小，电桥相应输出电压也很小，一般需要加入放大器进行放大。由于放大器的输入阻抗比桥路输出阻抗高很多，所以此时仍视电桥为开路情况。 由于ΔR1R1，分母中ΔR1/R1可忽略: 电桥电压灵敏度定义为 分析：  ① 电桥电压灵敏度正比于电桥供电电压， 供电电压越高， 电桥电压灵敏度越高，但供电电压的提高受到应变片允许功耗的限制，所以要作适当选择；  ② 电桥电压灵敏度是桥臂电阻比值n的函数，恰当地选择桥臂比n的值，保证电桥具有较高的电压灵敏度。  与ΔR1/R1的关系是非线性的，非线性误差为 理想情况（略去分母中的ΔR1/R1项）： 实际情况（保留分母中的ΔR1/R1项）： 非线性误差及其补偿方法 减小和消除非线性误差的方法 差动电桥 半桥差动：在试件上安装两个工作应变片，一个受拉应变，一个受压应变， 接入电桥相邻桥臂。 该电桥输出电压为 若ΔR1=ΔR2，R1=R2，R3=R4，则得 可知：Uo与ΔR1/R1成线性关系，无非线性误差，而且电桥电压灵敏度KU=E/2，是单臂工作时的两倍。 全桥差动：电桥四臂接入四片应变片，即两个受拉应变，两个受压应变，将两个应变符号相同的接入相对桥臂上。若ΔR1=ΔR2=ΔR3=ΔR4，且R1=R2=R3=R4，则 结论：全桥差动电路不仅