《硅片切割废液处理处置方法》化工行业标准编制说明（征求意见稿）.pdfVIP

制定 《硅片切割废液处理处置方法》化工行业标准编制说明 （征求意见稿） 一、任务来源 根据工业和信息化部办公厅关于印发2018 年第三批行业标准制修订和外文版项目计划的通知 [工信厅科 （2018 ）54 号]要求，全国废弃化学品处置标准化技术委员会于2020 年完成 《硅片切割 废液处理处置方法》化工行业标准，计划编号2018-1417T-HG。本标准由中海油天津化工研究设计 院有限公司、协鑫（集团）控股有限公司等共同负责起草，由全国废弃化学品处置标准化技术委员 负责技术归口。 二、目的和意义 随着太阳能光伏产业和半导体产业的不断发展，对单、多晶硅的使用量不断增加，尤其是近年 来太阳能行业对大面积薄硅片的需求量不断增加，并且要求硅片的质量要求不断提高。碳化硅粉体 由于化学性质稳定、硬度高、耐磨性能好等优点，在太阳能级大直径单晶硅棒多线切割中广泛应用。 工业上主要是利用游离碳化硅磨料并采用聚乙二醇(分子量 200-400)液体作为分散液，按照一定比 例混合配制成砂浆，进行多线切割硅棒，进而获得薄硅晶片。多线切割中使用的是切割液和碳化硅 混合成游离态稳定悬浮剂砂浆，其在切割过程中起主要作用。砂浆是被切割线的往复运动带到切割 区域，碳化硅颗粒在切割线高速运动下，通过滚压、镶嵌，刮擦过程，完成切割。这种砂浆理论上 是可以循环使用的，但由于切割摩擦作用，会有产生少量硅粉和金属碎屑，并混入砂浆，使得砂浆 的粘度增加、流动性变差、导热性能降低，这不但极大的降低了砂浆的切削能力，还导致切割后的 硅片受体系温度升高的影响 而发生翘曲以及其表面被细碎颗粒过度研磨光洁度变差使得硅晶片产 品质量下降，从而限制了砂浆的再循环使用次数。因此在硅晶棒的切割过程中，需要不断的补充或 更换新砂浆，进而产生了大量的硅晶圆线切割废砂浆。在切割过程中碳化硅颗粒会很少量不同程度 的磨损和破碎，但绝大多数的碳化硅粉，可以通过回收后继续利用。在硅晶圆棒的切割过程中碳化 硅颗粒的有效切割粒径为5~16 μ m。因此，只需对5μm 以下的颗粒做分离处理即可达到目的，这 对于碳化硅资源的节约及有效利用有着突出的贡献。 制定《硅片切割废液处理处置方法》化工行业标准迫在眉睫，有效地处理硅片切割砂浆，再生 利用其中宝贵的有价资源，控制甚至消除负面污染因素具有非常重要的现实意义，同时对于国内相 关企业的生产管理具有指导性意义。 三、标准简要编制过程 1 制定标准调研阶段 接到上级部门下达的制定《硅片切割废液处理处置方法》化工行业标准的工作计划后，首先查 阅了国内外标准及有关技术资料，并向相关单位发函，对 《硅片切割废液处理处置方法》化工行业 标准的相关问题及情况进行调查，并广泛征求对制定标准工作的意见，在此基础上提出了文献小结。 2 制定标准工作方案会阶段 2018 年11 月在天津市召开了制定 《硅片切割废液处理处置方法》化工行业标准工作方案会， 会上与会代表经过讨论初步确定了相应的试验方法等内容。根据讨论结果，制标工作小组提出了工 作方案及工作进度，标准起草小组协商确定了标准的相关内容和试验方法。 3 制定标准起草阶段 工作方案会后，有关企业根据会议纪要的安排作了验证试验工作。2016 年 5 月技术归口单位 汇总了资料，并对资料进行了分析，确定了处理处置方法。在此基础上提出标准征求意见稿。 四、硅片切割废液处理现状 硅片切割废液 （废砂浆）的形态为液体，主要成份为聚乙二醇、碳化硅和硅粉，已列入国家危 险废物名录，危险特性为毒性（T ），废物类别为有机溶剂废物，废物代码为261-005-06 。 硅片切割废液处理处置方法的工艺流程为： 1）搅拌废砂浆，加入降黏剂，其中降黏剂和废砂浆体积比为 3.5 ：1～4.5 ：1，而后进行一级 固液分离，得到一级悬浮液和一级固体颗粒； 2 ）搅拌一级悬浮液，添加质量为一级悬浮液质量分数的万分之二到万分之五的助滤剂，而后 通过板框过滤，得二级悬浮液和二级固体颗粒； 3 ）二级悬浮液依次通过孔径为0.18～0.26 微米的微孔膜过滤、中空纤维膜超滤，而后通过强 酸强碱型离子交换树脂去除离子，得到三级悬浮液，最后进入真空蒸馏装置，蒸馏得到可循环使用 的聚乙二醇和蒸馏液； 4 ）收集一级、二级固体颗粒，在碱洗池中使用质量分数为3～5 ％的氢氧化钠水溶液碱反应清 洗 4～5 个小时，其中氢氧化钠水溶液和固体颗粒的体积比为 3.5 ：1～4.5 ：1，而后进入水洗塔水 洗至