原子力显微镜的力曲线分析与转化.docx

原子力显微镜的力曲线分析与转化张杰，李疆，翁海珊（北京科技大学 机械工程学院，北京 100083）摘要 原子力显微镜的力曲线分析与转化 张杰，李疆，翁海珊 （北京科技大学 机械工程学院，北京 100083） 摘要：原子力显微镜测定的力曲线需转化为力位移曲线来应用。力位移曲线是以任意点为零点的，当研究粘附或者分子 模型对比时，需要知道针尖样品间的作用力或确切的零点位置，这时需将其转化为力-距离曲线。本文首先从力曲线的 测定原理得出了典型的力曲线，之后从理论上分析了力曲线、力位移曲线和力-距离曲线间的转化，从中得出了转化过 程中需要的两个重要参量：灵敏度和零距离，并提出了确定方法。最后，利用 MATLAB 实现了曲线的自动转化。 关键词：力曲线；力位移曲线；力－距离曲线；原子力显微镜 中图分类号：TH122 文献标识码：A 文章编号：1006－0316(2007)12－0005－04 Analyze and conversion of force curve measured by atomic force microscope ZHANG Jie，LI Jiang，WENG Hai-shan (School of Mechanical Engineering，University of Science and Technology Beijing，Beijing 100083，China) Abstract：Force curve measured by Atomic Force Microscope needs to be converted into force-displacement curve for application. The zero point in the force-displacement curve is arbitrary. When adhesion or comparison with molecular models is studied, it is vital to know the force between the sample and the tip or whether the tip and the sample are contact or not. So the force-displacement curve needs to be converted into the force-distance curve. In this thesis, at first the classical force curve was obtained according to principle of measurement. Then the theory of conversion is discussed. From the theory two key parameters are gotten: sensitivity and zero distance. Then the method is provided to know them. At last, the curves’ auto-conversion was realized by MATLAB program. Key words：force curve；force-displacement curve；force-distance curve；atomic force microscope 1986 年，G. Bunning 在发明原子力显微镜（简 写为 AFM）之初，它是作为成像工具的[1]。从 1988 年起人们才开始研究利用 AFM 测定的力曲线[2]。测 定的力曲线包含了很多有用的信息[2]，例如弹性、 硬度和 Hamaker 常数等材料属性；剥离力、粘附力 和摩擦力等表面力信息以及单分子特性等。因此力 曲线分析技术应用领域广泛，人们也对此技术进行 了深入研究。但是以往研究都是针对力位移曲线进 行分析的[3]。当研究粘附力、粘附分子特性或者分 子模型的对比等问题时，需要已知接触点或针尖样 品间的作用力，而力位移曲线是以任意点为零点， 反映的是悬臂梁偏移量的检测压差和压电陶瓷的伸 缩量的关系图，不能够直接判定接触零点和作用力。 这时需将力位移曲线转化为力－距离曲线，它是反 映针尖样品间作用力相对于针尖样品间距关系的曲 线。因此本文将讨论 AFM 对刚性材料样品（如硅片 等弹性模量较小的样品）测定的力曲线与力位移曲 线、力－距离曲线间的相互转化问题。从转化后的 力－距离曲线中，可以获取针尖靠近、远离样品时 所测各点的精确位置和作用力的性质