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双曲面四极质量分析器制造工艺研究吴定柱，刘兴宝 双曲面四极质量分析器制造工艺研究 吴定柱，刘兴宝，蒋家东，钱志强，岳晓斌 （中国工程物理研究院 机械制造工艺研究所 超精密加工技术重点实验室，四川 绵阳 621900） 摘 要：作为研究物质基本组成、结构特征、物理和化学性质的最基本的仪器—质谱仪，由于其直接测量的本质和高灵 敏、高分辨性，被广泛应用于环境监测、食品安全、生命科学等多个领域。四极质量分析器是四极式质谱仪的核心部件， 其零件及部件主要精度误差都要求小于 0.005mm，传统制造工艺已经无法满足要求。提出了一种零件组合和部件组合 加工方法，利用该方法加工了一套双曲面型四极质量分析器，加工后零件的表面粗糙度为 Ra0.2μm、两组对杆 140mm 范 围内平行度 4μm。 关键词：四极质量分析器；双曲面极杆；组合加工；比较测量 中图分类号：TH16；TH832.4+2 文献标识码：A 文章编号：1001-3997（2013）10-0122-02 Research on a Manufacturing Process of the Hyperboloidal Quadrupole Mass Filter WU Ding-zhu，LIU Xing-bao，JIANG Jia-dong，QIAN Zhi-qiang，YUE Xiao-bin （Institute of Mechanical Manufacturing Technology，Laboratory of Precision Manufacturing Technology，CAEP，Sichuan Mianyang 621900，China） Abstract：As the the most basic instruments in researching material composition，structure characteristics，basic physical and chemical properties - mass spectrometer，due to its nature of direct measurement and high sensitivity，high resolution，is widely used in environmental monitoring，food safety，life science and other fields.The quadrupole mass filter is one of the most important parts in mass spectrometry （MS）used in the analysis area. But the manufacturing errors and the assembly errors of the parts are all less the 0.005 millimeter，which has not been met for the traditional manufacturing method. A new machining process of the hyperboloidal quadrupole mass filter is put forward. One has been made by this method. The machining accuracy of the roughness is Ra0.2μm，and the depth of parallelism for the two opposite ploes is 4μm in long direction（range:140mm）. Key Words：Quadrupole Mass Filter；Hyperboloidal Pole；Assembled Machining；Comparative Measure 1 引言 作为研究物质基本组成、结构特征、物理和化学性质的最基 本的仪器—质谱仪，由于其直接测量的本质和高灵敏、高分辨性， 被广泛应用于环境监测、食品安全、生命科学等多个领域[1-5]。四极 质量分析器是四极质谱仪的一核心部件，其加工装配精度很大程 度上决定了质谱仪的质量分辨率。国内逐年扩大的四极质量分析 器市场一直被国外公司垄断，尤其是双曲面型四极质量分析器在 国内没有得到应用[6-7]，一金属双曲面四极杆示意图，如图 1 所示。 器场分布为通过理想双曲面电极得到的理想双曲电场，但实际中 理想双曲面极杆的加工、装配都相当困难，因而在国产四极杆质 谱仪器中常采用圆杆电极替代双曲面电极[8]。为了探索金属双曲