光电反馈式静电悬浮与静电悬浮力测定-光子学报.pdf

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2019-10-25 发布于天津
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28 8 光子学报 V o 1. 28 N o . 8 1999 8 A CT A P HOT ON ICA SINI CA A ugu st 1999 * 吴　兰　黄　峰 ( , 310027) 本文提出光电反馈式电悬浮的新方法, 简要讨论电悬浮的原理、装置及其光电反馈控制过程. 采用铝片和CD 光盘作为悬浮体, 测定了不同电电压和不同悬浮间距时的电悬浮力, 揭示了它们之间的相互关系. 结果显示这两种悬浮体均可获得足够的电悬浮力, 证明了电悬浮的可行性. 电悬浮方法的显著特点是既适用于导电体与非导电体的悬浮, 又适用于磁性体与非磁性体的悬浮, 克服了传统磁悬浮技术仅适用于磁性体的局限性, 可广泛应用于精密元器件的悬浮与非接触无损操作. 光电反馈电悬浮电力 0 , , - ( Wafer) L CD CD , . 1 , , . 1 , . . 1, 2 , . 3 , 1997 550km . , , , , . 1 , Fig . 1Basic concept o f electr ostatic su sp en sion b ased on . , o ptoeletr onic f eedb ack 4 . , , , . , . , * 　国家自然科学基金资助项目( 收稿日期: 1999—04—19 8 . 693 , , . , , . , . , , . , . , 2 , Fig . 2 Schem atic diag ram o f t he ex per im ental equ ipm ent , f o r m easur ing electr ostatic f o rces , , , , , , . , , , . , - -( P ID) , ,