工程光学12-4平行平板的双光束干涉.pptVIP

透镜的等光程性 在干涉和衍射实验中，常常用薄透镜将平行光线会聚成一点，而不会引起附加的光程差，只能改变光波的传播方向。 ① 经过主光轴的平行光汇聚到焦点，每条光线的光程相等。 ② 经过副光轴的平行光汇聚到焦点，每条光线的光程相等。 ③ 经过副光轴的点光源发出的光汇聚到S’点，每条光线的光程相等。 例题1 例题2 例题3 (2).测量微小物体的厚度 (3). 测量微小角度. (4) 测量微小位移 ［例］在半导体器件生产中，为测定硅片上的Si02薄膜厚度，将薄膜一侧腐蚀成劈尖形状，如图。用钠黄光从空气中垂直照射到Si02表面上，在垂直方向上观察Si02劈尖膜的反射光干涉条纹，看到有七条暗纹，第七条恰位于N处，问薄膜的厚度？ * * §12-4 平板的双光束干涉 分波阵面法的干涉：受到空间相干性的限制（干涉孔径角总有一定大小，且 ），只能使用有限大小的光源，在实际中不能满足条纹亮度的要求（激光光源除外）。为了使用扩展光源，必须实现干涉孔径角等于零的干涉。 分振幅法:利用透明介质的第一和第二表面对入射光的依次反射，将入射光的振幅分解为若干部分，由这些光波相遇所产生的干涉，称为分振幅法干涉。 在使用扩展光源的同时，保持清晰的条纹，解决条纹亮度与可见度的矛盾。 · p S * 干涉条纹的定域 两个单色相干点光源在空间任意一点相遇，总有一确定的光程差，从而产生一定的强度