硕士学位论文中期报告崔虹云.docVIP

哈尔滨工业大学 硕士学位论文中期报告 姓 名 崔虹云 学 号 07SG21901 院 （系） 航天学院 学 科 微电子科学与技术系 导 师 刘晓为 论 文 题 目多晶硅纳米膜欧姆接触特性的研究 中期报告日期 2009年4月1日 检查组长签字 研究生院培养处制 1．论文工作是否按开题报告预定的内容及进度安排进行 是按开题报告预定的内容及进度安排进行的。 2．目前已完成的研究工作及结果 2.1欧姆接触的设计测试分析 2.1.1欧姆接触的能带分析 设想有一块金属和p型半导体，它们具有相同的真空静止电子能级E0，并假定金属功函数大于半导体功函数，即WmWs。当金属与半导体接触时，由于电子将从费米能级(EF)s较高的半导体流向费米能级较低的金属，使半导体表面形成正空间电荷区。其中电场