Q_IA 01-2019工业用高纯氨.pdf

Q/IA 海宁市英德赛电子有限公司企业标准 Q/IA 01—2019 代替Q/IA 01—2016 工业用高纯氨 2019-05-06发布 2019-05-10实施 海宁市英德赛电子有限公司 发 布 Q/IA 01—2019 前  言 本标准是对Q/IA 01—2016 《工业用高纯氨》的修订，与Q/IA 01—2016相比主要修改内容为规范 性引用文件采用现行有效版本，技术指标不变。 本标准自实施之日起代替Q/IA 01—2016。 本标准编写遵循了GB/T 1.1 《标准化工作导则 第1部分:标准的结构和编写》等有关规定。 本标准海宁市英德赛电子有限公司提出并负责起草。 本标准主要起草人：潘佳伟、鄢芝勇、丁高松、卢勇华。 本标准于2016年4月首次发布，本次为第 1次修订。 I Q/IA 01—2019 工业用高纯氨 1 范围 本标准规定了工业用高纯氨 （简称高纯氨）的要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、充 装、运输、贮存及安全要求。 本标准适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相沉积，也可用于硅或氧化硅的氮化。 分子式：NH 。3 相对分子质量：17.03 （按2013年国际相对原子质量）。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 150.3 压力容器 第3部分:设计 GB 190 危险货物包装标志 GB 1589 汽车、挂车及汽车列车外廓尺寸、轴荷及质量限值 GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则 GB 7144 气瓶颜色标志 GB/T 14193 液化气体气瓶充装规定 TSG 21 固定式压力容器安全技术监察规程 TSG R0005 移动式压力容器安全技术监察规程 TSG R0006 气瓶安全技术监察规程 3 要求 3.1 高纯氨水分含量和轻组分含量的质量要求 应符合表 1的要求。 表1 轻组分和水分含量技术指标 项目 指标 氨 （NH ）纯度 （体积分数）/103 -2 ≥99.99999 总杂质含量 （体积分数）/10-6 ≤0.1 水分 （HO）含量 （体积分数）/102 -6 ＜0.05 氢 （H ） ＜0.05 2 轻组分含量 （体积分数） 氧 （O ） ＜0.03