浮雕型微光学元件的加工技术.pptVIP

若存在纵向深度误差，且各台阶的相对深度误差均为ρ 式中k为器件衍射效率的衰减因子 由k与ρ关系图可见，当相对深度误差小于10％时，衍射效率下降低于3％； 而当它大于10％时，衍射效率下降很快。 此外k随ρ的下降速度随L的增大而加快。 k 相对刻蚀深度误差ρ 元件存在横向对中误差的情况如图所示（图中只画菲涅耳一个波带）。器件表面结构不再对称的，无法用上面公式计算衍射效率，可改用矢量合成法计算衍射效率衰减因子。 取一相位矢量，其模等于元件同一台阶的横向表面积，方向角取入射该面积光波到达一级焦点处的相位值。 将有对准误差器件的所有这些相位矢量叠加，则其模与无加工误差器件的所有相位矢量和的模之比，就是衍射效率衰减因子γ。 用这种方法分别对焦距 f ＝4、6、8、15、29mm的菲涅耳透镜计算，其衍射效率衰减因子γ与对中误差关系如图所示。可见，衍射效率随对准误差呈线性衰减，衰减速度很快。 因此，对准误差是影响菲涅耳透镜衍射效率的重要因素。 若横向和纵向误差都存在，则其衰减因子应为kγ 。 结论： 由上述分析可见，对准误差是影响衍射效率的最重要因素，其次才是刻蚀深度误差。 因此，在制作过程中控制好套刻中的对准误差尤为重要。 * 扫描电子显微镜 展示的平滑的二维角 实际上就是打孔，但孔打在哪儿，打多大，就决定了透过率的分布 反应离子刻蚀 反应离子刻蚀是选择相应的化学气体，利用在等离