第6章之一光电直接检测系统(最新).pptVIP

光电检测技术与应用 第六章（一） 第6章 光电直接检测系统 第六章（一） 光电直接检测系统 莫尔条纹有如下特征： ? 1）平均效应：莫尔条纹是由光栅的大量刻线共同形成的，对光栅的刻划误差有平均作用，从而能在很大程度上消除光栅刻线不均匀引起的误差。 ? 2）对应关系：当指示光栅沿与栅线垂直的方向作相对移动时，莫尔条纹则沿光栅刻线方向移动（两者的运动方向相互垂直）；指示光栅反向移动，莫尔条纹亦反向移动。在图中，当指示光栅向右移动时，莫尔条纹向上运动。 ? 3）放大作用：莫尔条纹的间距是放大了的光栅栅距，它随着指示光栅与主光栅刻线夹角θ而改变。θ越小，B越大，相当于把微小的栅距P扩大了 倍。由此可见，计量光栅起到光学放大器的作用。 q sin / 1 例，对25线/mm的长光栅而言，P＝0.04mm，若θ=0.016rad，则B=2.5mm.，光敏元件可以分辨2.5mm的间隔，但无法分辨0.04mm的间隔。 ? 计量光栅的光学放大作用与安装角度有关，而与两光栅的安装间隙无关。莫尔条纹的宽度必须大于光敏元件的尺寸，否则光敏元件无法分辨光强的变化。 ? 4）莫尔条纹移过的条纹数与光栅移过的刻线数相等。例如，采用100线/mm光栅时，若光栅移动了x mm（也就是移过了100×x条光栅刻线），则从光电元件面前掠过的莫尔条纹也是100×x条。由于莫尔条纹比栅距宽得多，所以能够