第四章电感式传感器--2.pptVIP

涡流式传感器是利用金属导体在交流磁场中的电涡流效应。若一金属板置于一只线圈的附近，它们之间相互的间距为δ，当线圈输入一交变电流i 时，便产生交变磁通量Φ，金属板在此交变磁场中会产生感应电流i2， i2在金属体内是闭合的，所以称之为电涡流或涡流。涡流的大小与金属板的电阻率ρ、磁导率μ、厚度h、金属板与线圈的距离δ、激励电流角频率ω等参数有关。若固定某些参数，就可根据涡流的变化测量另一个参数。 高频(flMHz)激励电流,高频反射式涡流传感器多用于位移测量。? 特点 电涡流传感器是利用传感器线圈与被测导体之间的电磁耦合进行工作的。 传感器的线圈装置只是实际传感器的一半 另一半：被测导体 被测导体的材料物理性质、尺寸、形状与传感器的特性密切相关。 被测导体的材料对传感器特性的影响 被测导体导电率越高，传感器的灵敏度越高。 被测导体磁导率越高，传感器的灵敏度越低。 被测导体的尺寸和形状对测量的影响 涡流区与线圈几何尺寸关系： 被测导体的尺寸和形状对测量的影响 被测物体的厚度不能太薄，一般大于0.2mm 铜、铝箔等为0.07mm 对厚度的要求还与激励频率有关 被测导体表面镀层对精度的影响 镀层的性质和厚度不均匀，在测量移动时，会出现干扰信号，影响测量精度 随着激励频率的升高，电涡流的贯穿深度减小，这种干扰影响更大。 发射线圈L1和接收线圈L2分置于被测金属板的上下方。 由于低频磁场集肤效应小，渗透深，当低频(音频范围)电压u1加到线圈L1的两端后，所产生磁力线的一部分透过金属板,使线圈L2产生感应电动势u2。 由于涡流消耗部分磁场能量，使感应电动势u2减少，当金属板越厚时，损耗的能量越大，输出电动势u2越小。 因此，u2的大小与金属板的厚度及材料的性质有关.试验表明u2随材料厚度h的增加按负指数规律减少,因此，若金属板材料的性质一定，则利用u2的变化即可测厚度。 4.3.4 电涡流式传感器的应用 1、位移测量 2、振幅测量 3、转速测量 4、无损探伤 * 4.3 电涡流式传感器（互感式） 4.3.1 工作原理 电涡流式传感器原理图 （a） 传感器激励线圈; （b） 被测金属导体 根据法拉第定律，当传感器线圈通以正弦交变电流I1时，线圈周围空间必然产生正弦交变磁场H1，使置于此磁场中的金属导体中感应电涡流I2，I2又产生新的交变磁场H2。 　　根据愣次定律， H2的作用将反抗原磁场H1，由于磁场H2的作用，涡流要消耗一部分能量，导致传感器线圈的等效阻抗发生变化。 　　 线圈阻抗的变化完全取决于被测金属导体的电涡流效应。 式中, r为线圈与被测体的尺寸因子。 测量方法： 如果保持上式中其它参数不变，而只改变其中一个参数， 传感器线圈阻抗Z就仅仅是这个参数的单值函数。通过与传感器配用的测量电路测出阻抗Z的变化量，即可实现对该参数的测量。 Z=F(ρ,μ,r,f,x) 传感器线圈受电涡流影响时的等效阻抗Z的函数关系式为 4.3.2 电涡流传感器的等效电路 把被测导体上形成的电涡流等效成一个短路环中的电流，短路环可以认为是一匝短路线圈，其电阻为R1、电感为L1。这样线圈与被测导体便可等效为两个相互耦合的线圈。线圈与导体间存在一个互感M，它随线圈与导体间距x的减小而增大。 M L2 R2 R1 L1 根据基尔霍夫定律，可列出下面的方程： M L2 R2 R1 L1 等效阻抗 等效电阻 等效电感 品质因数 无涡流影响时的Q值 短路环阻抗 其中 等效电阻 等效电感 品质因数 讨论： （2）影响因素：L2、R2、L1、R1、w、M （3）Z、L、Q值都是M平方的函数 （1） 电涡流形成范围 涡流分布不均匀，其密度是线圈与金属导体之间距离x的函数。涡流只能在金属导体的表面薄层内形成，沿半径方向也只能在有限的范围内形成。 （1）涡流的径向形成范围 涡流密度既是线圈与导体间距离的函数，又是沿线圈半径方向r的函数。当x一定时，涡流径向形成范围大约在传感器线圈外半径的18~2.5倍的范围内，且分布不均匀；当r=0时，涡流密度为零，在线圈外半径附近涡流密度最大。 （2）涡流的强度与距离的关系 理论分析及实验证明，当线圈与导体间距离x改变时，涡流密度也将发生变化， 0.2 I2/I1 x/ras 0.4 0.6 0.8 1.0 涡流的强度与距离成非线性关系，且随着x/xas的增加而迅速减小；当利用电涡流式传感器测量位移时，只有在x/xas1(一般取0.05~0.15)的条件下才能得到较好的线性和较高的灵敏度。 （3）涡流的轴向贯穿深度 由于金属导体的集肤效应，电磁场不能穿过所有厚度的金属导体，仅作用于导体表面薄层和一定的径向范围内，并且导体中产生的涡流强度是随着导体深度的增加