传感与测试技术(7).ppt

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * CCD应用实例 7540个像元 放大倍数 50倍 D=(7540±2)×8÷50=1206±16(μm) 7.5 量子型红外传感器 本节主要内容 量子型红外传感器分类 典型量子型红外传感器 7.5 量子型红外传感器 引 言 物体在其温度高于绝对零度( - 273. 15 ℃) 时,会以红外线的方式对外辐射能量。可以利用这一特性来获取信息。 日常生活中应用红外传感器的例子 7.2 量子型红外传感器 引 言 电力监测中应用红外传感器的例子 7.2 量子型红外传感器 引 言 工业生产中应用红外传感器的例子 7.5 量子型红外传感器 引 言 国防与航天中应用红外传感器的例子 7.5.1 量子型红外传感器分类 根据工作原理，量子型红外传感器可以分为四大类： 光导型 红外照射引起电阻值变化来探测信息 光电型 红外照射在PN结处产生电子-空穴对形成光电流 光电磁型 红外照射产生光电流的同时外加磁场，形成感应电势 肖特基型 根据金属与半导体接触形成的肖特基势垒随红外照射 而变化来探测信息 光导型 光电型 光电磁型 肖特基型 7.5.2 光导型红外传感器 传感器结构 Vout 负载 电阻 调制盘 红外光敏电阻 传感器输出 输出 交流 分量 t t 辐射 功率 传感与测试技术讲义 机电学院 陈芳 联系方式：chenfanghit@ 一校区主楼121房间 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 7.4 电荷耦合器件(CCD) 前言 CCD：利用内光电效应,由多个光敏元组成的感知图像信息的光传感器。 7.4 电荷耦合器件(CCD) 前言 CCD：利用内光电效应,由多个光敏元组成的感知图像信息的光传感器。 图像信息 光强信息 光强的空间分布信息 色彩信息 7.4电荷耦合器件(CCD) 前言 CCD传感器的 三大任务 感知被测对象的光强信息 感知被测对象的光强的空间分布信息 感知被测对象的色彩信息 （产生与光强成比例的电信号） （感知光线来源点之间的位置关系） （感知被测对象的色彩组成与分布） 7.4.1 CCD的工作原理 光强的感知 1）光敏元的结构 其实质是金属-氧化物-半导体结构的MOS电容（容纳电荷） 金属电极：用于加载偏置电压和电荷转移驱动脉冲 二氧化硅：绝缘层 P型硅： 在光子作用下产生空穴-电子对；在偏置电压作用下形成势阱存储光生电子 典型光敏元结构示意图 7.4.1 CCD的工作原理 光强的感知 2）信号电荷的产生与存贮 7.4.1 CCD的工作原理 光强的感知 2）信号电荷的产生与存贮 光强与光生电荷的关系 光强的感知 3）信号电荷的转移 信号电荷转移示意图 三相脉冲示意图 电极施加正偏置电压越高，势阱越深 按一定时序在相邻电极上施加特定偏置电压，促使信号电荷在势阱间移动，实现信号电荷向特定方向转移。 光强的感知 4）信号电荷的输出 信号电荷的输出是指在信号电荷转移通道的末端，将电荷信号转换为便于进行信号处理的电压或者电流信号输出。CCD主要输出方式有电流输出、浮置扩散放大器输出和浮置栅放大器输出。 电流输出方式示意图 》电流输出方式 信号电荷进入电荷转移通道末端 信号电荷经A、RL到达UD，形成与信号电荷电量成正比的Id 输出电压VOUT =Id×RL 优点：输出结构简单 缺点：a.直接输出 增益小 b.输出效果受RL阻值一致性影响 光强的感知 4）信号电荷的输出 》浮置扩散放大器输出方式 浮置扩散放大器输出方式示意图 信号电荷进入复位管下势阱区 信号电荷引起放大器栅极电势变化ΔV=(Q/C放大器) 经放大器放大K倍后，VOUT = K×ΔV 优点： a.放大器与CCD同片 b.输出增益大，抗干扰能力强 缺点：输出结构复杂 光强的感知 4）信号电荷的输出 》浮置栅放大器输出方式 浮置栅放大器输出方式示意图 信号电荷转移到浮置栅下面的沟道 浮置栅上感应出镜像电荷 镜像电荷控制输出放大器的栅极电位 (输出电压) 优点： 非破坏性输出，可重复采样 缺点： 输出结构复杂