V1薄膜物理与技术第一部分序言第一章.pptVIP

薄膜物理与技术 任课老师 李金钗 武汉大学 序言 本课程主要包括三部分： 真空科学与技术 1. 真空的基本知识 2. 真空的获得（各种真空泵原理、结构及应用） 3. 真空的测量原理 4. 真空系统的组成、检漏及流导的计算 二. 薄膜物理 1. 薄膜的各种制备方法及原理 2. 薄膜厚度的测量 3. 薄膜的形成机理、晶体结构、缺陷 4. 薄膜的物理性质 三. 薄膜的掺杂、表面处理及离子束改性 1. 离子束与固体相互作用的基础知识 2. 离子注入的损伤效应及退火效应 3. 离子束材料改性 4. 离子注入设备 三部分之间的联系 ? 大多数薄膜的制备和生长方法都离不开真空条件 ? 许多重要的薄膜制备（生长）方法采用等离子体及离子束技术 ? 离子束表面处理、离子注入是薄膜掺杂和改性重要的技术 ? 等离子体的形成、离子束的产生、注入均需在真空条件下完成 第一部分 真空科学与技术 应用领域： 原子能技术、航天、薄膜制备、分析测试 电真空器件、微电子、轻工业、日常用品等 例： 原子能技术 各种加速器（串列加速器、正负电子对撞机、慢正电子束） 2. 航天技术： 地面模拟实验 3. 薄膜制备设备 真空蒸发法、MBE、各种CVD，离子溅射、离子镀 4. 高级表面分析测试仪 XPS、AES、SIMS、SEM、RBS、TEM、质谱分析、