薄膜物理第7章培训教材.pptVIP

第七章 薄膜材料及其应用;第一节 耐磨及表面防护涂层 第二节 金刚石薄膜 第三节 集成电路中的薄膜材料 第四节 集成光学器件 第五节 磁记录薄膜和光存储薄膜;第一节 耐磨及表面防护涂层;一、硬质涂层;二、热防护涂层;三、防腐涂层;第二节 金刚石薄膜;一、金刚石薄膜的制备技术;其中的星号表示相应的原子或原子团具有一定的化学反应活性。上述活性原子或基团在扩散至衬底表面时，将发生一系列的化学反应，其中比较重要的有;CVD方法沉积的金刚石薄膜;二、金刚石薄膜的应用;3、金刚石光学性质的应用。金刚石在从紫外到远红外的很宽的波长范围内具有很高的光谱透过性能。金刚石还具有极高的硬度、强度、热导率以及极低的线膨胀系数和良好的化学稳定性。这些优异性质的综合使得金刚石薄膜成为可以在恶劣环境中使用的极好的光学窗口材料。;第三节 集成电路中的薄膜材料;一、集成电路制造技术; 集成电路和最基本的制造工艺流程则如图(b)所示，它包括了将Si片的表层氧化构成绝缘层，在其上涂布对某一光波长敏感的光刻胶，在掩膜的帮助下使特定图形的光刻胶曝光，去除未曝光刻胶并按照其图形腐蚀掉氧化物层，在未被氧化物层覆盖的区域上扩散进特定浓度的杂质实现搀杂、沉积导电连线等一系列步骤。;二、发光二极管和异质结激光器;;三、超晶格与量子阱结构; 　在同一种成分的基础上，通过周期性