高分辨衬度原理与像计算.ppt

高分辨电子显微像衬度理论和像计算 回顾 透射电子显 微像衬度 振幅衬度(质厚衬度、衍射衬度)：当试样厚度降低到一定值，振幅衬度产生的像强度差异不足以区分试样的不同区域。 相位衬度(10nm以下)：利用电子束在试样出射面上的相位不一致，使相位差转换成强度差而形成衬度。若利用相干电子束成像即为高分辨像。 回顾 相位差的产生： 电子波矢量改变 Δk，产生相位差 电子束能量改变 ΔE 衬度传递函数 T(u,v) 试样周期性势场 电子束 相位物与弱相位物近似 相位物：简单的说就是电子束通过该物体只改变相位不改变振幅。此时透射波函数为： 弱相位物：将上式进行泰勒展开 在相位物近似下，不同散射波之间的相互干涉仍将导致多重弹性散射和非线性效应，使显微像与样品投影势之间呈现复杂关系。进一步近似，只考虑运动学散射而忽略由于多重散射带来的高阶项即为弱相位物近似，此时波函数与投影势成线性关系。 简单点阵条纹像 一维点阵条纹像 三种成像模式： 1.电子束沿光轴入射，使透射束和一束衍射束干涉成像； 2.电子束沿光轴倾斜一布拉格角，透射束和一束衍射束对称的处于光轴两边，干涉成像 3.电子束沿光轴入射，物镜光阑允许透射束和+g、-g衍射束通过，三束干涉成像。 简单点阵条纹像 一维点阵条纹像与 试样出射衍射束的复振幅为： (a) 偏离参量趋于零时的像振幅记为： 简化问题，取衍射矢量为(h,0,0)，则针对第一种成像模式： 当物空间有一维周期性(周期为a)时，想以周期为a/h的正弦强度分布，呈条纹像衬度。凡是使 波动的因素，都会降低条纹分辨率。如：加速电压、励磁电流的改变。 简单点阵条纹像 一维点阵条纹像与 (b) 第二种成像模式： 简单点阵条纹像 一维点阵条纹像与 第三种成像模式： (c) 前三项为常数项，当h=1时，第四项是周期为点阵间距a的余弦函数，第五项是周期为1/2点阵间距的余弦函数与另一余弦函数的乘积。可见 的取值可以直接影响像强度即衬度。 简单点阵条纹像 第三种成像模式： 当 时，上式最后一项为零，观察到周期为1/2点阵间距的条纹衬度。当 时，周期为点阵间距的条纹衬度叠加在半点阵周期条纹衬度上。后者弱的多，一般在像上观察不到半点阵周期条纹。 1.考虑球差系数Cs为0的情况，离焦量取 奇数倍时，出现点阵周期条纹，取 偶数倍时，出现半点阵周期条纹。离焦量每变化 ，条纹衬度翻转一次。 2.当离焦量Δf为定值，球差系数Cs等于 时，出现半点阵周期条纹，球差系 数Cs等于 时，出现点阵周期条纹。 简单点阵条纹像 第三种成像模式： 实线、虚线和点线分别代表获得与点阵相重的正反衬度点阵周期和半点阵周期条纹像的取值轨迹。 然而，并非图上所有取值都可以获得条纹像，只有当离焦量接近“稳态相位离焦设置”，即 时，才能观察到所需衬度的像。此时 规定获得特定周期的点阵条纹像允许的聚焦范围为景深。又常规透镜球差系数约为1.4mm-2.6mm。 简单点阵条纹像 一维点阵条纹像与厚度 简单点阵条纹像 一维点阵条纹像与厚度 I(x) 叶腊石晶体结构的一维晶格像 LPSO结构的一维高分辨条纹像 一维点阵像主要应用：鉴定透射电镜的分辨本领 简单点阵条纹像 二维点阵像 值得注意的是，二维点阵像只能反映晶体的二维平移周期信息，而不能给出单包内原子投影分布的细节。所以在应用高分辨电子显微术研究晶体缺陷以及缺陷附近原子所处的真实投影位置时必须慎重。并且由于仅用了有限的几束衍射束，因此对电镜的离焦量不要求Scherzer欠焦条件。 二维点阵像的衬度特点与一维简单双束干涉条纹类似， 计算机模拟的硅单晶点阵像随厚度和离焦量的变化 可直接解释的高分辨晶体结构像 一般情况下，高分辨晶体结构像与晶体原子或原子团没有简单的直接对应关系。 为了获得可直接解释的高分辨结构像，对于成像系统需要选择Scherzer欠焦条件，让尽可能多的衍射束与透射束一起通过物镜光阑干涉成像。这些衍射束的振幅和相位携带着物样投影势分布等重要信息，成像系统对物镜光阑允许通过的所有衍射束进行近似相同的调制、传递成像。对物样的要求则是满足若相位物近似、赝若相位物近似或投影电荷密度近似。 可直接解释的高分辨晶体结构像 弱相位物近似 相位物：简单的说就是电子束通过该物体只改变相位不改变振幅。此时透射波函数为： 将上式进行泰勒展开 在相位物近似下，不同散射波之间