2011年第一批半导体材料国家标准制.doc

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附件1: 2011年第一批半导体材料国家标准制(修)订计划项目表 序号 计划编号 项目名称 制修订 被代替标准号 完成年限 项目归口 起草单位T-469 Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法 制定 - 2012 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会 中国科学院半导体研究所T-469 Ⅲ族氮化物外延片晶格参数测试方法 制定 - 2012 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会 中国科学院半导体研究所T-469 LED发光用氮化镓 制定 - 2012 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会 中国科学院半导体研究所T-469 LED外延芯片用磷化镓衬底规范 制定 - 2012 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会 中国科学院半导体研究所T-469 LED外延芯片用砷化镓衬底规范 制定 - 2012 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会 中国科学院半导体研究所、国瑞、协鑫硅材料等T-469 氮化物LED外延片内量子效率测试方法 制定 - 2012 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会 中国科学院半导体研究所T-469 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法 制定 - 2012 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会 协鑫光电科技(江苏)有限公司、中科院上海光机所T-469 蓝宝石单晶衬底抛光片规范 制定 - 2012 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会 协鑫光电科技(江苏)有限公司、中科院上海光机所T-469 蓝宝石单晶晶锭 制定 - 2012 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会 协鑫光电科技(江苏)有限公司、中科院上海光机所T-469 蓝宝石晶锭应力测试方法 制定 - 2012 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会 协鑫光电科技(江苏)有限公司、中科院上海光机所T-469 太阳能电池级硅片翘曲度和波纹测试方法 制定 - 2012 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司T-469 太阳能电池级硅片切割线痕和表面粗糙度测量方法 制定 - 2012 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会 瑟米莱伯贸易(上海)有限公司T-469 太阳能电池用锗单晶片和锗衬底片 制定 - 2012 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会 南京中锗科技股份有限公司T-469 碳化硅单晶抛光片 制定 - 2012 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会 北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所T-469 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法 制定 - 2012 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会 北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所T-469 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算方法 修订 GB/T 13389-92 2012 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会 有研半导体材料股份有限公司

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