原创力文档材料工程年期多光子纳米加工中激光扫描条件对金属微纳结构的影响靳伟董贤子赵震声段宣明中国科学院功能晶体与激光技术重点实验室北京中国科学院研究生院北京摘要研究了飞秒激光多光子还原制备银微纳结构技术中激光扫描条件对金属微纳结构与形貌的影响结果表明增加激光扫描点间距可获得较小线宽延长曝光时间使线条变宽增加扫描次数可使金属微纳结构表面银纳米粒子熔融凝固成较大尺寸颗粒及块状物关键词多光子纳米加工多光子光化学还原金属微纳结构中图分类号文献标识码文章编号作为激光直写加工技术之一的多光子加工技术近性微纳器件的关键
材料工程 ／ 年 期
５８ ２０１１ １２
多光子纳米加工中激光扫描条件对
金属微纳结构的影响
ＥｆｆｅｃｔｓｏｆＬａｓｅｒＳｃａｎｎｉｎ
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