多孔硅的光电性质及在木阳能电池中的应用国.pdfVIP

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2019-10-26 发布于天津
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多孔硅的光电性质及在木阳能电池中的应用国.pdf

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第 42 卷，第 2 期 Vo1.42 , NO.2 海之疙~疙~ð-嗲进展 2005 年 2 月 Feb. 2005 多孔硅的光电性质及在木阳能电池中的应用王海燕孙晓峰张宇翔李维强卢景霄 (郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室，郑州 450052) 提要论述了多孔硅电化学和化学的腐蚀机理以及多孔硅的光电性质，提出多孔硅在太阳能电池应用中存在的一些实际问题。关键词多孔硅太阳能电池量子限域孔隙率光荧光效应减反特性 Manufacture and Photoelectric Properties of Porous Silicon and its Use in Solar Cells WANG Haiyan SUN Xiaofeng ZHANG Yuxiang LI Weiqiang LU Jingxiao (KeyLαbora切ryfoγMα始叫αl Physics, School ofPhysicαlEngiηeering， Zhengzhou University, Zhengzhou 450052) Abstract The electro-chemical and chemical etching mechanism of porous silicon and the photoelectric properties of porous silicon 缸e discussed, and some practical issues in the application of porous silicon in solar cells are put forward Kew words porous silicon solar cell quantum limit domain porosity photoluminescent effect anti-reflec一 tion property 纪 90 年代多孔硅的研究进入了一 R =5.25%。而原始多晶硅片 Rw= 1 引言 w 个新阶段，研究重点是多孔硅的结 38%; 一般的 SiN 减反膜Rw=9.7%o 早在 1956 年，Ualir 已报道了构、形成机理、发光机理等。多孔硅多孔多晶硅太阳能电池具有良好在 HF 溶液中用电化学方法在单晶在光伏器件上的应用早在 1982 年的前景，其光谱响应与常规晶体硅硅表面形成多孔硅膜。随后又制成已有报道，已在 P+/nc-Si 电池上用太阳能电池相近。化学法制备多孔多晶多孔硅和微晶多孔硅，它们有电化学方法作薄多孔硅层，在 500- 硅，易于实现工业化生产。因而多