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单晶炉使用说明书
机械、电气部分
型号FT-CZ2208AE
2010 年11 月
FerroTec 集团
上海汉虹精密机械有限公司
目 录
一． 概述：2
1.1 主要用途和适用范围：2
1.2 产品特点：2
1.3 使用条件；3
二． 工作原理与结构特征：4
2.1 工作原理及其总体结构：4
2.2 主要部件的结构特征：5
三． 技术特性：6
3.1 主要性能：6
四． 尺寸和重量：7
4.1 外形及安装尺寸：7
4.2 重量：7
五． 安装调整：8
5.1 设备基础，安装的技术要求: 8
5.2 安装程序及注意事项：8
5.3 安装、调整后的验收试验项目：9
5.4 试运行前的准备：9
六．使用和操作： 10
6.1 使用前的准备和检查： 10
6.2 热场组立的注意事项 10
6.3 启动及运行过程中的操作程序： 10
6.4 运行中的监测和记录： 13
6.5 停机的操作程序、方法及注意事项： 13
七. 故障分析与排除： 13
八 安全保护装置及事故处理： 14
8.1 安全保护装置及注意事项： 14
8.2 出现故障时的处理程序和方法： 14
九 保养和维护： 15
9.1 日常维护、保养和校准： 15
9.1.2 电气部分 18
9.2 检修周期：36
9.3 正常维修程序：36
9.4 长期停产时的维护和保养：37
十． 运输和贮存：37
10.1 吊装、运输注意事项：37
10.2 贮存条件贮存期限及注意事项：37
十一．开箱及检验：37
11.1 开箱注意事项：37
11.2 检查内容：38
十二. 其他：38
12.1 售后服务事项：38
12.2 联系方法：38
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FT-CZ2208AE 单晶炉使用说明书
一． 概述：
1.1 主要用途和适用范围：
FT-CZ2208AE 型是通过引进日本技术，针对太阳能电池市场需求而开发的高性能晶体
生长炉。该炉采用直拉法生长单晶，提升结构类型为软轴提拉型。
1.2 产品特点：
FT-CZ2208AE 单晶炉融合了多种当代新技术，实现了全过程自动控制和数据交换。主
要特点如下：
1）拉晶全过程采用PLC 控制，抗干扰性好，可靠性高，维修方便，利用PC 带触摸
屏幕电脑与 PLC 进行实时数据交换，采用视窗形式操作软件, 用户界面良好，简单易操
作，通过屏幕随时可以了解硅单晶棒拉制过程中的各种参数如长度等。
2）如果具有多台FT-CZ2208AE 型号的单晶炉，则该触摸式电脑中的软件可以相互之
间复制。因此，如果一台单晶炉的软件有故障了，可以从另一台单晶炉复制过来。这不
仅解决了软件包一旦损坏和丢失的问题 ，而且也解决了一台单晶炉调试好了，其他单晶
炉均可以
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