1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 高等教育
  5. 工学

微机电系统的微观摩擦学研究进展-摩擦学学报.pdf

微机电系统的微观摩擦学研究进展-摩擦学学报.pdf

    第卷第期摩擦学学报年月微机电系统的微观摩擦学研究进展邓昭饶文琦任天辉余来贵刘维民余新良上海交通大学化学化工学院上海中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室甘肃兰州浙江家园药业有限公司浙江东阳摘要对微机电系统的微观摩擦学研究现状进行了综述介绍了在微机电系统中摩擦学呈现的各种新特征以及材料环境和不同工况条件对微机电系统运行稳定性的影响从微观摩擦学角度探讨了微机电系统的润滑问题介绍了表面改性和薄膜润滑等在解决微机电系统润滑问题方面的研究现状并对相关领域的工作进展进行了总结和展望关键词微机电系

    第 2 1 卷　第 6 期 摩 擦 学 学 报 2 1, 　 6 V o l N o 200 1 年 11 月 TR IBOL O GY N ov , 200 1 微机电系统的

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >