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微电子机械系统和流体流动-力学进展.pdf

微电子机械系统和流体流动-力学进展.pdf

    第卷第期力学进展年月日微电子机械系统和流体流动摘要出现于年代后期的微机械工艺技术可提供微米尺度的传感器和致动器这些微型转换器与信号调节和处理电路集成后组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的领域另一方面由于微米尺度结构中表面积与体积之比很大在流体流经这些微小机械器件时表面效应占据了主导地位为此需要重新审视动量方程中的各类表面力项由于它们非常小气体流动具有很大的数所以边界条件也应加以修正总之微电子机械系统不但是一项实用技术也为流动机理的基础研究提出了许多挑战

    第 28 卷　第 2 期 力　学　进　展 V o l28　N o 2 1998 年 5 月 25 日 ADVAN CES IN M ECHAN ICS M ay 25, 1998 微电子机械系统和流体流动 Ch ih M

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