第7章-微位移技术介绍.pptVIP

电磁控制的微动工作台首先由日本研制成功。1955年NIHIZAWA等人开始研究，至1975年研制出定位精度为0.2um的微动工作台，并成功地应用于电子束曝光机中，成为微位移技术中的一个新方法。 第三节 精密致动技术 电磁致动的原理如图所示，把微动工作台1用4根链或金属丝4悬挂起来；工作台两端分别用弹簧3固定，另外两端放置两块电磁铁。通过改变电磁铁线圈的电流来控制电磁铁对工作台的吸引力，克服弹簧的作用力，达到控制工作台微位移的目的。 设工作台的位移量为△d，当电磁铁的吸引力为F时，此时工作台保持平衡。F应等于弹簧的拉力F与工作台由初始位置位移△d所产生的吊簧拉力F之和，即 第三节 精密致动技术 第三节 精密致动技术 电磁铁的吸引力为 式中:B—电磁场磁通密度，Wb； μ—导磁率,H/m； S—磁极截面面积。 弹簧的拉力为 第三节 精密致动技术 式中:k—弹簧常数,kg/m； △d—工作台移动距离，m； g—常数(g=9.8N/kg)。 设由于工作台移动而形成悬挂丝的偏角为B,工作台向上移动为Ah,那么， △h=L(1-cosθ) 式中，L为挂丝长度，当L足够长时，△h/L=1- cosθ。由于θ很小，故△h/L→0，故弹簧拉力与挂丝的拉力相比较，可以忽略不计，所以电磁铁的吸引力变成 第三节 精密致动技术