第6章 电容式传感器.pptVIP

6.3 电容式传感器的信号调理电路 1. 电桥电路 2.调频电路 3.谐振电路 4.运算放大器电路 5.脉冲宽度调制电路 1. 电桥电路 2. 调频电路 4. 运算放大器式电路 该电路的特点： 能够克服变间隙电容式传感器的非线性，使V－X 成线性关系。 6.4 影响电容传感器精度因素及提高精度的措施 6.4.2 漏电阻 使传感器灵敏度下降 输出产生零位漂移 6.4.3 边缘效应 使传感器灵敏度下降 非线性增加 6.4.4 寄生电容的影响 寄生电容：电容器极板与周围物体之间产生的电容联系。 危害：使传感器电容改变，导致传感器特性不稳定，从而带来干扰。 1.电容式测微仪 2.差动电容式压力传感器 6.6 小结 电容式传感器有如下特点 参数变化大、极低的内耗性能 、高的动态响应。 整体屏蔽法 6.5 电容式传感器的应用 To Two 3.电容式液位传感器 * * 第6章 电容式传感器 6.1电容式传感器的工作原理及结构形式 6.2传感器的等效电路 6.3传感器的信号调理电路 6.4影响传感器精度的因素 6.5传感器应用 工作原理：利用电容器的原理，将被测非电量转化为电容量的变化。 优点：结构简单、体积小、分辨率高、频响范围宽、可非接触测量。 缺点：电容量小，输出阻抗高；存在寄生电容，导致性能不稳定；有的传感器输出特性为非线性。 应用：位移、振动、加速度、压力、液位等。 6.1 电容式传感器的工作原理及结构形式 根据电容器变化参数的不同，分为3种类型： 变间隙式 变面积式 变介电常数式 6.1.1 变间隙式电容传感器 差动式电容传感器 差动结构的优点： 灵敏度提高一倍； 非线性误差大大下降； 还能减小静电引力带来的误差，改善环境影响造成的误差。 6.1.2 变面积式电容传感器 （1）角位移式 （2）线位移式 增大极板边长b，减小间隙d，都可以提高灵敏度，但边长a不宜过小，否则边缘效应会影响线性特性。 6.1.3 变介电常数式电容传感器 （1）测量液位 （2）测量非导电介质厚度、湿度 6.2 电容式传感器的等效电路 Rp—极板间的泄漏电阻和介质损耗 Rs—引线电阻、电容器支架、极板电阻损耗 L—电容器本身电感和外部引线电感 注意：传感器要正常工作，应选择低于传感器谐振频率的工作频率 To Two 滤波 K 相敏 检波 L1 L2 C1 C2 ~ To 4.2.3 电路灵敏度和稳定性较高，且寄生电容影响小，因此简化屏蔽和接地，适于高频工作，应用很广泛。 To 4.2.3 调频振 荡器 传感器 混频器 限幅 放大器 鉴频器 非线性 校正 输出 f0 fz 调频振 荡器 fb 直放式调频电路方框图 将传感器作为振荡器谐振回路的一部分，当输入量使电容量发生变化后，振荡器的振荡频率就发生变化，通过鉴频器将频率变化转化为振幅的变化，经放大后用仪表指示。 抗外界干扰强，特性稳定等 3. 谐振电路 To 4.2.3 -K 5. 脉冲宽度调制电路 To Two 6.4.1. 温度的影响 对结构尺寸的影响 原因：温度变化导致极板间隙或面积变化，产生附加电容。 制造时，选用温度系数小、几何尺寸稳定的材料。 2) 对介电常数的影响 原因：介质的介电常数有不为零的温度系数，产生附加电容。 可由后续测量线路进行补偿，但不可完全消除。 To Two 选用绝缘性能良好的材料作两极板支架，如陶瓷、石英等 采用高的激励电源频率 To Two 增大初始电容，即增大极板面积或减小极板间距 加装等位环 To Two 缩短传感器至测量线路前置级的距离 驱动电缆法 * * *