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集成电路测试概述 任课教师： 屈艾文 集成电路测试的定义 集成电路测试是对集成电路或模块进行检测，通过测量对于集成电路的输出响应和预期输出比较，以确定或评估集成电路元器件功能和性能的过程，是验证设计、监控生产、保证质量、分析实效以及指导应用的重要手段。 集成电路测试的基本原理 集成电路故障与测试 集成电路测试过程 集成电路测试分类 集成电路测试的意义与作用 半导体技术的发展对测试的影响 集成电路测试的基本模型 集成电路测试的基本原理 集成电路故障与测试 集成电路测试过程 集成电路测试分类 集成电路测试的意义与作用 半导体技术的发展对测试的影响 集成电路的不正常状态 缺陷(defect) 故障(fault) 失效(failure) 集成电路的不正常状态 缺陷(defect) 故障(fault) 失效(failure) 集成电路的不正常状态 缺陷(defect) 故障(fault) 失效(failure) 集成电路的不正常状态 缺陷(defect) 故障(fault) 失效(failure) 故障和缺陷区别 缺陷会引发故障，故障是表象，相对稳定，并易于测试； 缺陷相对隐蔽和微观，缺陷的查找与定位较难 集成电路使用者一般不直接研究缺陷，仅研究故障。 集成电路的开发和生产者肯定不能满足只研究故障，还需要找到具体的缺陷（设计、物理或化学等），予以改进，排除故障。 故障的分类 根据故障性质 逻辑故障 非逻辑故障 根据故障性质 逻辑故障 非逻辑故障 根据故障性质 逻辑故障 非逻辑故障 根据故障的时间间隔 永久性故障 间歇性故障 故障产生的错误逻辑值 固定值故障 可变值故障 根据模拟系统的故障概念 硬故障：永久性的损坏故障 软故障 ：器件参数的变化。 故障检测的基本任务：根据输入激励量和输出响应量来判断集成电路状态的故障情况。 故障检测和故障诊断的首要问题 测试图形的生成 测试生成过程要能迅速准确地得到测试码，并且能判断测试码的有效性，还要保证测试码尽量简单，必须讨论测试码与测试图形的各种生成方法和集成电路的各类故障模型。 集成电路测试的基本原理 集成电路故障与测试 集成电路测试过程 集成电路测试分类 集成电路测试的意义与作用 半导体技术的发展对测试的影响 集成电路测试的过程 测试设备 测试接口 测试程序 数据分析 集成电路测试的过程 测试设备 测试接口 测试程序 数据分析 集成电路测试的过程 测试设备 测试接口 测试程序 数据分析 集成电路测试的过程 测试设备 测试接口 测试程序 数据分析 集成电路测试的过程 测试设备 测试接口 测试程序 数据分析 集成电路测试的过程 测试设备 测试接口 测试程序 数据分析 测试工程师主要任务 根据被测器件的产品规范要求，利用ATE的软硬件资源对DUT施加激励信号、收集响应信号，最后将输出响应信号与预期要得到的信号进行对比，得出DUT功能和电参数的详细电性能测试报告 集成电路测试的基本原理 集成电路故障与测试 集成电路测试过程 集成电路测试分类 集成电路测试的意义与作用 半导体技术的发展对测试的影响 按测试目的分类 验证测试（特性测试） 生产测试 验收测试（成品检测） 使用测试 按测试目的分类 验证测试（特性测试） 生产测试 验收测试（成品检测） 使用测试 验证测试作用 对设计进行修正 可确定器件工作的确切边界参数以制定最终的器件数据手册 为生产测试开发出合适的测试程序 按测试目的分类 验证测试（特性测试） 生产测试 验收测试（成品检测） 使用测试 老化 生产测试结果和器件好坏分四种组合 实际好-测试好：表示产量或良率 实际好-测试坏：表示产量损失，需要改进测试方法或通过产品分级继续使用，以减少这类损失 实际坏-测试好：表示“漏网”的坏芯片，用每百万芯片失效数DPM(Defects Per Million)度量。提高测试的故障覆盖率可降低DPM. 实际坏-测试坏：真正的产量损失。 按测试目的分类 验证测试（特性测试） 生产测试 验收测试（成品检测） 使用测试 按测试目的分类 验证测试（特性测试） 生产测试 验收测试（成品检测） 使用测试 按测试内容 按测试器件 数字电路测试 模拟电路测试 混合信号电路测试 存储器测试 SOC测试 集成电路测试的基本原理 集成电路故障与测试 集成电路测试过程 集成电路测试分类 集成电路测试的意义与作用 半导体技术的发展对测试的影响 集成电路测试的作用 检测: 确定被测器件DUT是否具有或者不具有某些故障 诊断：识别表现于DUT的特性故障 器件特性的描述：确定和校正设计和/或者测试中的错误 失效模式分析(FMA) ：确定引起DUT缺陷制造中的错误。 测试框架结构 测试框架结构 测试框架