光学制造技术第13章 镀膜.pptVIP

第13章 光学镀膜 西安工业大学 徐均琪 第一节 绪 论 一、 薄膜 附着于“基底”、且与基底不同质的非自持性涂层。 thin film：薄膜/coating：覆盖、包裹物、涂 层/layer：层状物/foil：箔 “和光的波长同量级”， “以一个微米为界限” 。随着科学技术的发展，现在几十微米的膜也称为薄膜。 二、薄膜的作用 薄膜的作用在于改进基底的性能或功能。 1、实现特定的光学特性 光学薄膜 AR; HR; IR-cut; filter; RGB 2、优化表面性能，改善表面特性 TiN，SiC，DLC，DF 3、进行微细加工，实现微制造； 电子线路；光学薄膜；生物薄膜；…… 4、产生新功能特性 滤光片；场效应管；传感器；…… 三、薄膜的分类及材料 薄膜分类 按照薄膜的材料：金属薄膜、介质薄膜、半导体薄膜 按照薄膜的用途：光学薄膜、 导电薄膜、工具薄膜—保护薄膜（耐摩擦磨损、抗酸碱盐腐蚀）、电子薄膜—存储薄膜、传感薄膜（气敏、光敏、烟雾、压电等）、超导薄膜、装饰薄膜。 薄膜材料 一般指固体薄膜；但也存在气体薄膜（空气轴承）和液体薄膜（向列型液晶薄膜）。 四、薄膜的制备方法 五、光学薄膜的理论基础 光的本质： 遵守的基本物理定律： 光学薄膜的特殊性: 多层膜计算