扩束系统在激光加工系统中的重要作用.docVIP

第23卷　第6期 1999年12月激　　光　　技　　术LASER TECHNO LOGY Vol . 23, No . 6December , 1999 扩束系统在激光加工系统中的重要作用 赵　侠 (华中理工大学激光加工国家工程研究中心, 武汉, 430074 摘要:介绍了扩束系统的结构, 从理论上计算了扩束系统对激光光束质量的影响, 并对其进 行了分析和讨论。 关键词:扩束系统　激光加工　发散角　光斑　导光系统 The importance of the beam expander in laser processing system Zhao X ia (N ational Engineering Research Center for L aser Processing , HUS T , Wuhan , 430074 A bstract :T he construction of the beam ex pander has been introduced . T he influence of the beam ex pander on the laser beam quality has been discussed and analyzed theoretically . Key words :beam ex pander 　laser processing 　divergence 　beam spot 　beam delivery system 引　　　言 近年来, 随着激光器件的性能与激光功率的不断提高, 激光加工在工业生产中所占的比例越来越大。在激光加工应用中, 对激光的光束质量有不同的要求。其中又以激光切割和激光打标对光束质量的要求最为苛刻。例如, 对激光光束的平行度, 即发散角和聚焦光斑的要求就很高[1]。 为了获得高质量的光束, 在激光切割和打标系统中, 我们采用了激光扩束系统以达到良好的聚焦效果。 1　扩束系统的结构 扩束系统是由至少两个光学元件组成的光学系统, 主要用于扩展平行光束的横截面积。其设计在原理上与倒装望远镜一致。扩展倍数对应于望远镜的放大倍数。 一般来说, 扩束的基本方式可分为两种, 即伽俐略法和开普勒法 1. 1　伽俐略法 光束通过一个凹透镜(组 产生发散, 以这种放大的状态再通过一个凸透镜(组 复原成平行光, 凹透镜(组 的焦点F 1′必须与凸透镜(组 的焦点F 2重合。这两个元件(组 之间的距离 由它们实际的焦距决定　　, 如图1a 所示。 1. 2　开普勒法 光束也是通过两组光学元件, 两组光学元件 都有正的折射能力, 出现一个真实的焦点F 1′ (F 2 , 并出现一个倒影, 这两个元件(组 之间的Fig . 1　a —Gal ilean telescope 　b —Kapller telescope [2, 3]。 第23卷　第6期赵　侠　扩束系统在激光加工系统中的重要作用379　距离由这两个焦距决定, 如图1b 所示。 2　扩束系统对提高光束质量的理论分析 2. 1　扩束系统对激光束聚焦光斑直径的影响[4, 5] 以基模(TEM 00 激光束为例, 不考虑透镜球差时聚焦光斑的计算(见图2 , 谐振腔内束腰 的半径　　R 0为:R 0=R /[1+(πR /λr ](1 式中, R =R 1=R 2为两腔镜表面的光束半径, r =r 1=r 2为两腔镜的曲率半径。 光束在离开束腰后在距离z 处的半径为 21/2R z =R 0[1+(λz /πR 2], 其远场发散角为0 221/2 θ=λ/πR 0。 在距束腰l 0处放置一焦距为f 的透镜, 在l f 处得到一聚焦后的束腰半径D f 2222Fig . 2　The divergence and focusing of TEM 00l aser beam 2221/D f =(1/R 0 (1-l 0/f +1/(f θ 及l f =f +(l 0-f f /[(l 0-f +(R 0/θ ]。一般规律是l f 大于f , 在焦平面内的焦斑直径大于2R f , 但由于θ很小, 故l f 与f 相差很小, 建议在基模时甚至在多模时简化为　　　　　　　R f =f θ(2 或　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　R f =f λ/πR (3 　　对发散角θ很小的基模(TEM 00 激光束, 用入射于透镜表面的光束半径R 代替束腰半径R 0更易于估算焦斑直径。 当透镜半径α≥2. 8R 时, 受到衍射极限限制的焦斑直径为R dif =1. 22λf /2α。 需要指出的是, 这一仅受衍射极限限制的焦斑直径只有在理想情况下才能实现, 实际上, 由于激光束不均匀, 透镜有球差、聚焦元件不理想等原因, 波长为10. 6μ