压电陶瓷元件电极分割方法.docxVIP

2001年第 3 期声学与电子工程总 2001年第 3 期 声学与电子工程 总第 63 期 压电陶瓷元件电极分割方法 庞海鸥 张铁鸣 (第七一五研究所 富阳 311400) 摘要 本文介绍了实现压电陶瓷元件电极分割的方法，着重介绍了用专用分割装置实现 压电陶瓷元件的分割，并叙述了分割精度对换能器指向性造成的影响，最后给出了换能器指向 性的测量结果。 关键词 电极分割 压电陶瓷 换能器 1 概述 水声换能器是实现电声能量互换的器件。当它处于发射状态时，它把电磁振荡能转换成 机械振动能，从而推动水介质进行振动，亦即辐射声能；当它处于接收状态时，它的机械振 动系统受到水中声压的作用而产生振动，换能器再把机械振动能转换成电磁振荡的能量。目 前在水声领域中应用最广泛的换能器是压电陶瓷换能器，其核心部件就是压电陶瓷元件[1]。 压电陶瓷换能器的性能一般主要由振子和盖板决定。振子是由压电陶瓷元件构成，可以 利用压电陶瓷元件的不同的振动模式进行工作。例如由 P — 41、P—51 压电陶瓷材料制备的厚 向极化的矩形薄板，厚向极化的圆片及圆环、轴向极化的圆柱及圆管、径向极化的圆管等， 可以形成振子的弯曲振动模、纵向振动模、径向振动模等。为了充分利用压电元件的某些振 模，需要对元件电极进行分割。例如具有正交偶极子方向性的矢量传感器、超声马达等，其 核心部件都是压电陶瓷圆管，为了利用其弯曲模式，