电子显微与扫描探针(2).pptVIP

一个电子被原子散射，散射角大于或等于某一定角α的概率称为该试样物质对电子的“散射截面”用σα表示。 σα包括: ①弹性散射截面 σe， σe ∝Z4/3/V ②非弹性散射截面σi, σi∝Z1/3/V Z:原子序数 ；V：加速电压 σα=σe +σi 可见，随原子序数Z的增加，散射截面σα增加。 重元素比轻元素对电子的散射能力强; 随加速电压（V）的增加，散射截面下降，试样对电子的散射能力减小。 由于非弹性散射电子方向改变导致能量损失、造成色差，使图像的清晰度下降？。 将弹性散射截面与非弹性散射截面对比，可以得到 σe/σi= （Z4/3/V）×（V / Z1/3）＝ Z 从式中可以看出，原子序数（Z）越小，非弹性散射所占的比例越大， 利用散射电子成像时，由于轻元素试样成像的色差较大，因此图像清晰度下降？。 (2) 三级中倍成像 如适当改变物镜激磁强度，使物镜成像于中间镜之下，中间镜以物镜像为“虚物”，将其形成为缩小的实像于投影镜之上，投影镜以中间镜像为物，成像于荧光屏或照相底片上。 结果获得中等放大倍数的像，约几千至几万倍，光路图如图20.6（b）所示。 （3）二级低倍成像 当关闭物镜，减弱中间镜激磁强