无尘车间洁净度标准.pdfVIP

. 无尘车间洁净度如何确定详细分析 一、净化车间的规格 净化 车 间的规格一般适用于美国联邦规格 No.209B 。这个规格对净化间的环境要素即空气洁净 度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。但是，伴随着洁净化程度的不断提高，美国联邦规格 进行了改版， 其内容主要是以洁净度进行分类。 最新版已成为 No209E，名称也进行了变更。 No.209E x 3 的级别表示是把 0.5um 以上的颗粒数为 10 个/m ，把 X 表示成级别，同时加上米制 M 的意思，表示 成 M3.5 等等。在表 7 里表示的是美国联邦规格 No.209B，表 8 表示的是美国联邦规格