微弧氧化法制备纳米晶金属氧化物薄膜研究进展.pdfVIP

第十七次全国焊接学术会议应征论文 微弧氧化法制备纳米晶金属氧化物薄膜研究进展 江旭东 a 王永钱 a 潘春旭 a,b* (a. 武汉大学物理科学与技术学院，人工微结构教育部重点实验室，中国 武汉 430072 b. 武汉大学电子显微镜中心，中国 武汉 430072) 摘要：微弧氧化(MAO)是一种在金属表面“原位”生长金属氧化物纳米晶陶瓷薄膜的技术。本文综述了 MAO 的原理及其放 电过程，描述了电参数和电解液两大因素对 MAO 的影响，分析了 MAO 薄膜在微米尺度和纳米尺度的微结构特征，并对 MAO 薄膜的机械性能、耐腐蚀性、生物相容性以及光催化性能作了具体的说明。 关键词：微弧氧化，纳米晶，金属氧化物，薄膜 0 前言 临界值时，绝缘膜上的薄弱环节首先被，发生微弧 放电现象，同时在样品表面产生游动的弧点或火 微弧氧化(Micro-arc Oxidation 简称 MAO)[1]， 花。由于击穿首先发生在氧化膜相对薄弱的部位， 又称为微